中古 MGI Phoenix #293811524 を販売中
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MGIフェニックスは、半導体ベースのウェハ製品の超純度表面調整操作を容易に処理するために設計されたウェハハンドリング装置です。このシステムは、高度な容量結合プラズマ技術(CCP)を使用して、ウエハの本質的な超清浄を妨げることなくウェーハ表面を調節します。Phoenixは完全に自動化されたバッチ処理環境に配置されるように設計されており、手動処理を必要とせずに一度に最大100個のウェーハを処理できます。ユニットは、ロボットアームとプラズマジェネレータの2つの主要コンポーネントで構成されています。ロボットアームは、プラズマジェネレータとロボティクスホールディングステーションの間でウェハを移動するために使用されます。プラズマジェネレータは、特許取得済みのCCP方法を使用して空気から充電ガスを生成するために使用されます。MGIフェニックスは、半導体業界のお客様の特定のニーズに応える幅広い能力を有しています。それはクリーニングプロファイルの広い範囲を提供し、いろいろな基質を処理し、複数のウェーハを同時に処理でき、異なったクリーニングの適用のためのいろいろガスを発生できます。さらに、省エネゲーム技術などの高効率機能も搭載しています。フェニックスは、非常に低い故障率で高レベルのパフォーマンスを提供します。その高度な技術により、生産プロセス全体にわたって均一なパフォーマンスが保証されますが、自動化されたツールは複雑な手動処理を排除し、プロセスのテストと検証のための非常に反復可能な条件を保証します。さらに、この資産には、オペレータと環境の安全を確保するためのさまざまな安全機能が装備されています。MGI Phoenixは、独自のCCPや高度なソフトウェアやプロセス制御技術などの高度な技術を活用し、ウェーハ表面処理において最高品質を保証します。これにより、最大のプロセススループットと予測可能な結果が保証され、製造コストが最小限に抑えられます。さらに、このモデルは半導体産業のために特別に設計されており、高度に自動化された生産環境での使用に最適化されています。全体的に、フェニックスは高度なウェーハ表面洗浄操作のための主要なソリューションです。最先端の技術、広範な機能、最小限の手動操作、および優れた安全機能を組み合わせることで、半導体業界の自動加工作業に最適です。MGI Phoenixは、優れた性能と再現性により、半導体製品の最高品質を保証します。
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