中古 MGI ET 2000 #293760396 を販売中
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MGI ET-2000は、MGI(三菱ガス化学株式会社)が設計・製造した300mmウェハハンドラです。最大350mmのウエハーをサポートし、最大3つのカセットまたは牽引トレイと2つのPODを同時に収容できます。ET-2000は非常に低い振動プラットフォームを備えており、ウェーハを損傷なく取り扱い、転送することができます。クイックアクセスドアとフラットウエハ専用トランスファーカップの設計により、機器の使用とメンテナンスが容易になります。システムの低振動プラットフォームにはエアベアリングが装備されており、搬送中もウェーハが静止することができます。また、低振動設計により外部振動による誤差を低減します。さらに、監視制御や安全なアクセス制御のための独立したフロントパネルなど、多くの安全機能を備えています。また、3つの独立した軸を同時に動かすことができ、最適なハンドリングの柔軟性を備えています。3つの独立した軸により、ユーザーはウェーハのロード、アンロード、または転送を最適化できます。すべての軸は独立して制御され、高速で正確で安定した動作を可能にします。電力管理の面では、ソフトウェア管理の高速起動、可変速度制御、電力品質管理など、さまざまな機能を備えています。これらの機能は、パフォーマンスを最大化し、ウェーハの品質を向上させるのに役立ちます。最後に、アセットにはマルチゾーン排気モデルが組み込まれており、ウェーハの温度を低く保つのに役立ち、ユーザーにとって安全な作業環境を作り出します。全体として、MGI ET-2000は、速度、精度、品質の最適な組み合わせを提供する高度なウェーハ処理および転送機器です。低振動プラットフォームと追加の安全機能により、ウェーハを効率的、正確、安全に転送するための安全で信頼性の高い方法が提供されます。
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