中古 MGI ET 1000 #9221426 を販売中

MGI ET 1000は、ウェーハポッドのコンパクトで正確なロード/アンロード、およびこれらのウェーハの処理ツールの内外への転送用に設計されたウェーハハンドラです。静止または動的動作が可能な完全自動化された6軸ロボットで、最大15個のウエハを収容できます。このユニットは、6軸タレットに独立した真空ツールチェンジャーとプログラム可能なウェーハ座標を備えており、転送時にウェーハを正確に配置できます。このツールは、380 （W） x 590 （D） x 305 （H） mmの限られたスペースで動作します。最大移動速度は250mm/秒で、高いスループットと高速なウェハローディングとアンロードが可能です。MGI ET1000は、高度な画像取得システムを搭載し、高精度な位置決めを実現しています。このユニットには安全規格が組み込まれており、主要なソフトウェアパッケージとのインタフェースに使用できます。このユニットはまた、微細な位置調整機能を備えた高精度ポジショナーを備えています。ユニットのウエハハンドリングシステムは、2つの平行線形ステージで構成され、真空ドリフトインデクサが取り付けられています。ウェーハポッドは真空ドリフトインデクサに直接配置され、ロボットアームは要求に応じてウェーハをロードまたはアンロードするために必要な動きを行います。ET-1000はユーザーの安全性と利便性を念頭に設計されています。ウェーハアライメントや衝突検知用のセーフティスイッチを内蔵し、ウェーハの自動検知や故障処理機能を備えています。また、作業者の事故を防ぐための作業現場の保護を備えています。そのスリムライン設計は、それが不必要なスペースの量を占有しないことを保証します。全体として、MGI ET-1000は、コンパクトで信頼性の高いパッケージで堅牢で正確なパフォーマンスを提供する効果的なウェハハンドラです。