中古 MGI EET1-0395D-X-U #9294204 を販売中

MGI EET1-0395D-X-Uウェーハハンドラは、あらゆる半導体ウェーハを安全かつ正確に取り扱うために設計された高精度ウェーハ搬送装置です。EET1-0395D-X-Uは、ステージング領域から処理およびエッチングまでウェーハを効率的に輸送することにより、プロセスのスループットを最適化するように設計されています。MGIウェーハハンドラは、固定ベース、ウェーハハンドリングアーム、ウェーハトランスポートカルーセルの3つの主要コンポーネントで構成されています。トランスポートカルーセルは、最大32個のウェーハ、それぞれ最大直径200mmのウェーハ、および最大100mmの小さなウェーハサイズのホストを保持することができます。カルーセルはACサーボモーターを内蔵し、精密かつ正確な動作を実現します。ウェハハンドラ全体には、8〜12インチのスペーシングモーション構成が用意されています。MGI EET1-0395D-X-Uウェハハンドラの主な特徴は、ウェハハンドリングアームです。アームは、ウェーハのミシャンドルと損傷を軽減するように設計されています。さまざまなサイズや形状の複数のウェーハを自動的に選択または配置できる自動ウェーハ処理機能を備えています。アームには、統合された照明システムとビデオビューが含まれており、ウェーハの位置を正確に調整できます。アームは調整可能なので、理想的な視野角を特定のプロセス要件に設定できます。プロセスのすべての領域の簡単な輸送とアクセスを確保するために、ユニット全体が柔軟な輸送ユニットで設計されています。これは、固定ベースとカルーセルと相互接続されている自動シャトルマシンが含まれています。このトランスポートツールを使用すると、ウェハハンドラの位置をすばやく移動でき、外部コントローラまたはHMI （Human Machine Interface）から制御することができます。EET1-0395D-X-Uウェハハンドラには、密閉エンクロージャやEストップボタンなどのCSA-UL認定安全コンポーネントが装備されています。さらに、ユニットには完全なメンテナンスと安全マニュアルが付属しています。マニュアルは、定期的なメンテナンスと安全な使用のためのすべてのインストールと運用要件をカバーしています。全体として、MGI EET1-0395D-X-Uウェハハンドラは、パフォーマンスと安全性を最適化するために設計された信頼性の高い高精度ウェハトランスポートアセットです。その先進的な機能と柔軟な輸送モデルにより、EET1-0395D-X-Uはあらゆるタイプの半導体ウェーハの効率的で正確な処理に最適です。