中古 MGI EET #9116015 を販売中
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ID: 9116015
ウェーハサイズ: 6"
Ergonomic wafer transfer system, 6"
Stepper motor
RS-232 interface port
Optional process turntable carrier.
MGI EETは、Material Handling Laboratory、 Inc。が製造するイーサネット対応ウェハハンドラです。ウェーハ製造および保管ラボでの賭け金を処理するために特別に設計されています。EETはウェーハプロセスの重要なコンポーネントであり、様々な製造チャンバーの出入り時にウェーハを処理するために使用されます。MGI EETは、あらゆる生産設備のニーズに合わせてカスタマイズされたモジュラーシステムです。ベースモデルには、7軸ロボットアーム、3軸回転ハンドラ、統合ミニITXコンピュータが付属しています。これにより、ウェーハハンドラは、本番セットアップに応じて、1つまたは2つの軸でウェーハを移動および転送することができます。EETにはパススルー機能もあり、別々の電源ベイでデュアル処理が可能です。ロボット機能に加えて、MGI EETには複数の安全機能があります。これらには、過熱保護、過電圧保護、Eストップボタン、インターロック保護、光トラベルリミットセンサーが含まれます。さらに、EETはチャンバー内の異物を検出したり、衝突を防ぐためにプログラムすることができます。衝突やその他の障害が検出された場合、ユニットは自動的にシャットダウンし、ウェーハへのさらなる損傷を防ぎます。MGI EETにはイーサネット接続も備えており、ウェハハンドラへのリモートアクセスと制御が可能です。これにより、ユーザーは任意の場所または任意のWebブラウザを介してEETを監視および調整することができます。イーサネット接続により、ユーザーはユニットのソフトウェアを更新し、一定のパフォーマンスを確保することができます。全体として、MGI EETは強力で信頼性が高く効率的なウェハハンドラです。カスタマイズ可能な設計、統合されたコンピュータ、複数の安全機能、リモートアクセスにより、さまざまな生産設定でウェーハを処理するのに理想的です。モダンなデザインと技術により、EETはあらゆる用途で安全で正確なウェーハ転送を保証します。
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