中古 MGI ACT-1003 V8 #9170549 を販売中

MGI ACT-1003 V8は、研究開発用に設計された自動ウェーハ処理装置です。このシステムには、完全に自動化された双軸ガントリーユニット、モーター付きウェハチャックアセンブリ、および2つの高信頼性リニアスラスタが装備されています。クリーンルーム環境では、さまざまなサイズや厚さのウェーハをさまざまな加工機に転送するように設計されています。双軸ガントリーツールは、ウェーハチャックを所望の場所に向けることで、精度の高い広い領域をスキャンすることができます。3000mm/secまでの速度に達することができる高強度および低い慣性サーボモータによってこれは支えられます。また、ガントリーアセットにはダブルガイドレールのサーボ制御モデルを採用し、ウェハモーションの精度と精度を向上させています。この装置の電動ウェーハチャックアセンブリは、最大8個のウェーハを同時に保持することができます。ウェハハンドリングと位置決めが安全で正確であることを保証するための精密空気圧式クランプ機構が含まれています。電動ウェーハチャック設計は、ウェーハアライメント、オリエンテーション、位置決めにも対応しています。また、ウェハハンドリングシステムには、エラー検出やウェハ検査に使用されるオンボードビジョンユニットが搭載されています。2つの信頼性の高いリニアスラスタは、ウェーハを取り扱う際に安定した堅牢で滑らかな動きを提供します。コンパクトなサイズと一体型のエアマニホールドアセンブリにより、高性能で大きなウエハをすばやく扱うことができます。これにより、スループットが大幅に向上し、汚染リスクが低減されます。ACT-1003 V8は、安全性と信頼性を念頭に設計された高性能マシンです。これは、クリーンルームのさまざまなアプリケーションのための革新的なウエハハンドリングソリューションを提供しています。さらに、ダブルガイドレールのサーボ制御ツールやオンボードビジョンアセットなどの高度な機能により、信頼性と正確なウェハハンドリングが保証されます。