中古 MECS UTX-1100 #66910 を販売中

MECS UTX-1100は、最高精度の半導体加工に特化したウェハハンドラです。ハンドラーは450ミリメートル×450ミリメートルの作業領域に基づいており、真空グラブ装置で動作します。ウエハサイズは直径75mm〜300mmまで、効率よく取り扱うことができます。この2軸モーションユニットは、ウェーハ処理プロセス全体のすべての操作を通じて回転ウェーハを移動するように設計されています。モータ駆動は最大300mm/秒の速度に達することができ、ウェーハカセットと加工工具の間を素早く正確に移動できます。UTX-1100の堅牢な設計には、ウェーハを汚染から保護する保護カセットハウジングチャンバーと、厳しい条件下でも適切な動作を保証する特別なデュアルチャンバー保護マシンが含まれています。また、精密リニアエンコーダツールと微調整モジュールを搭載し、正確な位置決めと動きを保証します。洗練されたソフトウェアコントローラを簡単にプログラムおよび管理することで、ワークフローを効率的に自動化し、エラーや故障によるダウンタイムを削減できます。MECS UTX-1100は、真空クラッチとグリッパーの圧力を制御して、処理中にウェーハをしっかりと固定することができ、操作中にスリップまたは変位する可能性を排除します。内蔵の自動ベッドアライメントアセットは、ウェハカセットの位置を自動的に調整して最大限の効率を実現します。UTX-1100はメンテナンスが容易な設計で、半導体産業の大量生産ラインに最適です。ステンレス製の構造と集塵・液体保護により耐久性が高く、ウェーハ材の安全で信頼性の高い取り扱いが可能です。