中古 MECS UTC-801P #9153846 を販売中
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MECS UTC-801Pは、半導体産業の生産効率を向上させるために設計された自動ウェーハ処理装置です。これは、キャリア、アセンブリ、ストレージ・チャンバ間でウェーハを安全かつ効果的に転送する方法を提供します。MECS UTC801Pは、ユーザーフレンドリーなWindowsタイプのインターフェイスと完全に統合された高度なロボットアームを備えています。このシステムは信頼性が高く直感的であるように設計されているため、オペレータは機械の最も重要な機能に簡単にアクセスできます。ロボットアームは最大射程740mm、操縦速度は1。2m/sで、ユニット内の異なるポイント間を素早く正確に移動することができます。ロボットの精度も調整可能で、あらゆる用途に最適な性能を発揮します。最大重量130kgの異なるサイズのウエハーを並列処理することができます。UTC 801Pには、ウェーハを正確に配置するための高精度ビジョンマシンも装備しています。このツールには、標準の200/300/400mmカセットとオプションの8位置基板キャリアが付属しています。このマシンはまた、精密なプロセス制御のための包括的なセンサーやその他の監視システムと統合されています。UTC-801Pの4つのマニピュレータヘッドは、耐性プローブやその他のバイアルなど、さまざまな非ウエハー部品を取り扱うようにプログラムすることができ、オペレータにさらに汎用性をもたらします。アセットもモジュール式で、操作の容易で経済的なスケーラビリティを実現します。MECS UTC 801 Pは産業用に設計されており、ステンレススチールフレームはほこりや湿気に対する優れた保護を提供します。機械の部品は信頼性が高く、1日の75%まで連続運転がサポートされています。また、安全規制に完全に準拠しており、安全で効率的な作業環境を確保しています。
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