中古 MECS UTC-801P #9153844 を販売中

MECS UTC-801P自動化されたウェーハハンドラは、アライメントされていないウェーハとアライメントされていないウェーハの両方のローディング、転送、および輸送のための汎用性と信頼性の高いツールです。コンタミネーションリスクを最小限に抑え、スループットを最大限に高め、安全で安全なウェハハンドリング環境を提供するために設計された、精密設計された極めてコンパクトな装置です。MECS UTC801Pは、200mm/8インチと300mm/12インチの間でウェーハをロードすることができます。このユニットには、2軸メカニズムを使用して精度と速度でウェーハをピックアップして輸送するように設計された電動ロボットアームが含まれています。標準化はウェーハ処理において重要であり、UTC 801Pは2種類のウェーハキャリアを提供し、ウェーハが損傷やアライメントのばらつきのない適切な位置に保持されるようにします。また、低真空圧システムも搭載されており、汚染の危険を冒すことなく、キャリアから新しい場所へのウェーハの迅速で安全かつクリーンな転送を保証します。MECS UTC 801Pは、精密な積み込みと転送機能に加えて、優れた安全機能も備えています。ウェーハ露出を制限し、ずれのリスクを低減するために、複数の安全インターロックが含まれています。クランプを使用してウェーハを安全に保持し、シフトを防ぎます。視覚的で可聴なアラームユニットは、オペレータに異常を警告します。さらに、非接触技術の使用は、傷やその他の損傷のリスクを最小限に抑えるのに役立ちます。結果の一貫した品質を確保するために、UTC-801Pは正確で反復可能なウェーハ処理プロセスを提供するように設計されています。ロボットアームなどを正確に制御するドイツ製の大規模統合制御機を搭載しています。また、前の作業で使用したウェーハから新しいウェーハにプロセスデータを自動的に転送するため、生産中のエラーを見つけやすくなります。全体として、UTC801Pは信頼性が高く、高精度で直感的な自動ウェーハハンドラです。その設計により、コンタミネーションリスクを最小限に抑えながら、迅速なローディングと転送速度が保証され、洗練された安全機能と精密制御により、厳格な品質管理が保証されます。そのコンパクトなサイズは、ほとんどの生産ラインに簡単に組み込むことができます、その汎用性は、ウェーハサイズや形状の様々な処理を可能にします。