中古 MECS UTC-800P #9097821 を販売中

MECS UTC-800Pは、最大8インチウエハの搬送に使用される半導体工場で使用されるウェハハンドラです。このハンドラーは、CVD、エッチング、拡散、スピンリンスドライ、リソグラフィ、PVD、および関連プロセスをサポートするように設計されています。MECS UTC 800 Pは、1時間あたり最大60ウェーハの高いスループットを誇り、正確で信頼性の高い転送操作を提供できます。テーブルトップ設計により、既存のプロセス機器とのクリーンで簡単な統合が可能になり、革新的なウェーハハンドリングコンポーネントのアーキテクチャにより、時間に敏感なプロセスで高効率の動作が保証されます。ウエハハンドラは、システム全体のウエハ移動に窒素またはクリーンな空気供給を使用する「ロードロック」装置を備えています。トランスファーチャンバーと外部環境との空気交換を低減し、クリーンルーム雰囲気の効率的なメンテナンスを可能にします。UTC-800Pは前面から8インチスリットカセット、雑誌とFOUPカセットでロードされます。ハンドラは、各ロボットアームの位置と速度を制御し、誤った位置または向きのウェーハを積極的に拒否することができます。また、誤ったウェーハを拒否する保護板を備えています。さらに、精密な動作を保証するために、光学およびハードモーションポジションチェック機を装備しています。安全性はUTC 800 P設計の重要な特徴です。2ポイントウェーハガイダンスツールを備えており、SEMI S2/FSE規格に準拠しています。ハンドラーは衝突検出および防止の技術、堅牢なフレーム構造および安全な操作のための補強されたボディと開発されました。また、動的ウェーハ破損防止、動的ウェーハコーナー検出、緊急停止機能、動的連動アセットも備えています。MECS UTC-800Pは、半導体業界にとって、信頼性が高く安全性の高いウェハハンドラです。その革新的なコンポーネントと厳格な安全基準は、最も厳しい作業でも正確な転送を提供するように設計されており、工場プロセスに最適です。