中古 MECS UTC-800 #9222185 を販売中

MECS UTC-800ウェハハンドラは、今日の先進技術のための費用対効果の高い高性能ソリューションを提供するように設計されたロボットウェハハンドリング装置です。汎用性の高いツールは、ウェーハハンドリングをより簡単に、より速く、より信頼性の高いものにするためのさまざまな機能を提供します。MECS UTC 800には、2 軸CCDウェハステージ、高速ウェハトランスポート、デュアルステージエレベータなどの機能が搭載されています。さらに、このシステムは、最大8インチのウェーハを直径で処理し、幅広い種類のウェーハに対応できます。UTC-800は、2つの独立した2軸CCDウェハステージをツールフレームの反対側の壁に取り付けて設計されています。CCDウェーハステージは、ウェーハを輸送ユニットに確実に転送する役割を担い、約1600mm/秒の速度を達成することができます。CCDウェーハステージの均一でフラットな動きにより、転送プロセス中に各ウェーハを正確に配置できます。UTC 800には、高速で信頼性の高いウェーハ輸送用のデュアルステージウェーハエレベータ機があります。第1段は着信ウェーハを持ち上げ、第2段の回転板に配置します。これにより、スムーズな転送が保証され、転送エラーの数が削減されます。エレベーターツールの最高速度は1600mm/secで、最大加速は100mm/sec^2です。MECS UTC-800は、さまざまなウエハータイプをサポートする多種多様な機能を標準装備しています。ハイテクなOTPアセットにより、OTPプレートの迅速かつ正確な取り扱いが可能になり、フレキシブルなウェハクリーニングモデルにより、動作中の汚染を最小限に抑えます。オプションの粘着ウエハトランスファー機能により、MECS UTC 800は、最も繊細なウエハタイプでも容易に処理できます。UTC-800は、半導体業界の進化する需要に対応するために設計されたウェーハ処理用の汎用性と信頼性の高いプラットフォームです。その2軸CCDウェーハステージ、高速ウェーハトランスポート、およびデュアルステージエレベータは、最も要求の厳しいアプリケーションで信頼性の高い動作と優れた性能を提供します。さらに、柔軟な機能により、さまざまなウエハータイプを簡単に処理できるため、ユーザーは変化の激しい高度な製造業の世界で競争力を維持するために必要な柔軟性が得られます。