中古 MECS UTC-150 #9055581 を販売中

Model MECS UTC-150 Wafer Handlerは、半導体加工のために設計された完全に自動化された、精密なウェハハンドリング装置です。それは高性能および正確さのために設計されている速く、信頼できるウェーハの処理システムです。このユニットは、最大のスループットを達成するために各ムーブメントを計画し、ウェーハ輸送の正確な制御を可能にします。モデルUTC-150は、コンパクトサイズ、軽量で費用対効果の高いウェーハハンドリングマシンです。MECS UTC-150には2台の貯蔵車が装備されており、貯蔵車1台につき最大10台のウェーハを積み降ろすことができます。ウエハーの吸引力を十分に発揮し、しっかりと固定して収納車とロボットアームの間を正確に動かします。ロボットアームには複数のジョイントがあり、あらゆる方向に素早く正確に動き、ウェハを目的のターゲットに効率的に移動させることができます。このツールは、最先端のPLC制御アセットで設計されており、モデルのプログラミングと監視を可能にします。PLC制御装置は、最適化されたウェーハ処理のためのユーザー定義のレシピでプログラムすることができ、一度に最大99のレシピを収容して保存することができます。さらに、UTC-150は他の半導体加工装置と統合することができ、性能と効率を最大限に高めることができます。オプションの自動ロード/アンロード機能により、ロボットアームと処理ユニット間で自動的にウェーハを転送することで、スループットが向上します。このシステムは、さまざまなプロセス制御、センシングシステム、およびクリーニングシステムと互換性があり、ウェーハの動きをリアルタイムで監視します。MECS UTC-150は、業界標準のJEDECガイドラインに準拠して設計されています。取付け、維持することは容易であり、ウェーハの動きおよび環境条件両方を監視するために機械へのアクセスを制限するために動力スイッチおよびセンサーのような範囲の安全特徴と来ます。ユニットは包括的な保証と寿命のテクニカルサポートでバックアップされています。