中古 MECS UTC-100 #9153686 を販売中
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MECS UTC-100は、半導体ウェーハおよび基板用の最先端のハンドラーです。この自動ウェーハ起動装置は、信頼性の高い品質、効率的な処理、および高度なプロセス技術を提供し、現在および将来の製造要件をサポートします。スループットを最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えるように設計されたUTC-100は、200mm以上のウェーハ機能を備え、世界トップクラスのパフォーマンスを実現します。MECS UTC-100には、大量の半導体生産のアプリケーション要求に特化して設計された独自のオートメーションシステムが含まれています。このユニットは、最小限の労力と時間でさまざまな半導体ウェーハサイズを処理するように設計されています。ウェハスタートアッププロセスの転送、クリーニング、乾燥、ロード/アンロードはすべて、直感的なオペレータインターフェイスによって自動化され、制御されます。生産時間をさらに短縮するために、UTC-100には、高精度のウェハレベルの検出と、安全で迅速なウェハトランスファーのための高度なウェハトランスファー技術が含まれます。さらに、ウェーハハンドリングマシンは温度制御とプロセス監視を提供し、最大の歩留まりとスループットを確保します。また、MECS UTC-100は品質管理機能を統合し、最適なウェーハ性能を確保します。このツールには高度なビジョンシステムが装備されており、各ウェーハを検査および測定して均一性を確保し、ウェーハ欠陥の潜在的な原因を排除します。さらに、このアセットには高度なプロセスレシピが組み込まれており、ウェーハパラメータを調整して最適化し、理想的なプロセスパフォーマンスを実現します。プロセス制御と精度をさらに向上させるために、UTC-100には、水系洗浄ソリューションによる自動現場ウェーハ洗浄が含まれています。このモデルはトレーサビリティも提供し、オペレータはプロセスパラメータとウェーハ情報を追跡および追跡することができます。この高度なウェーハスタートアップ機器は直感的なユーザーインターフェイスによって管理され、オペレータはプロセスパラメータとウェーハ情報を簡単に制御および監視できます。MECS UTC-100は、自動化された生産ラインに統合することができ、上流および下流の自動化システムとのシームレスな統合を可能にします。全体として、UTC-100は半導体生産において最大のスループットと歩留まりを達成するために不可欠なツールです。
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