中古 MECS UTC-100 #9097815 を販売中

MECS UTC-100ウェーハハンドラは、III-V半導体デバイスの製造中に半導体ウェーハを積極的かつ正確に移動およびアライメントするプロセスを自動化するために設計された先進的なロボット機器です。6インチから12インチまでの幅広いサイズのウェーハサイズに対応する初のロボットウェーハハンドラシステムです。SiC、 GaAs、 InPウェーハなど、さまざまな基板サイズ、形状、材料に対応できます。UTC-100ウェハハンドラは、最大限の柔軟性を備えたオートメーションを提供するように設計されています。最大6軸の動作が可能な強力なロボットアームを使用して、ピンポイント精度でウェーハを操作します。ロボットアームは、1ミリの小さなウェーハを大きな真空チャンバー上に移動させることができ、処理領域におけるウェーハの非常に正確なアライメントを行うことができます。また、拡張可能に設計されており、既存または新しい半導体デバイス製造施設のさまざまなに統合することができます。また、ウエハハンドラは、ウエハーを1台の台から別の台に転送するプロセスを自動化し、ヒューマンエラーの可能性を最小限に抑え、より効率的で正確なワークフローを作成することができます。また、MECS UTC-100には高度なビジョンユニットがあり、最大1ミクロンの精度でウェーハ位置を正確に特定できます。堅牢な高精度ビジョンマシンと直感的なユーザーインターフェースにより、ウェハガラス基板アライメントをすばやく特定して見つけることができます。UTC-100ウェハハンドラは、III-V半導体デバイス製造プロセスの需要増加に対応するために効率的に動作することができます。これは、高精度で最大のオートメーションを提供するために特別に作成された高度で信頼性の高いロボットツールです。MECS UTC-100は、III-V半導体デバイス製造プロセスのための優れた自動化ツールであり、効率的かつ正確なライン追跡を可能にし、潜在的な汚染レベルからウェーハを最大限に保護します。