中古 MECS UT0100 #9157918 を販売中

MECS UT0100は、自動化されたウェーハファブ環境で24時間稼働するために設計された高性能ウェーハハンドラです。この装置は、多軸ロボット、操作装置、独自のアルゴリズムを備えた先端技術を利用しています。UT0100は最大4つの独立したワークステーションを提供し、それぞれ最大300mmのウエハを処理できます。MECSシステムは、多面的なフロントエンドオートメーションソリューションに最適で、幅広い柔軟なソリューションを提供します。ウェーハは高精度のサーボモーターによってピッチ、ヨーおよび傾きで正確に制御されます。パワフルで信頼性の高いMECS UT0100ウェハンドラは、高いスループットと一貫性を提供します。これは、自動リピートおよび自動アライメント機能を備えた、シングルおよびマルチプロセスの両方の処理に使用できます。このユニットは、マニピュレータアームドライブとパラメータの高解像度の監視と制御を提供します。さらに、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと組み込みの障害検出と診断があります。UT0100機械で使用される高度な多軸ロボットは非常に効率的であり、短いサイクル時間と長距離での正確な移動を可能にします。位置と精密な動きに高い感度で、ロボットは非常に小さな距離を非常に正確に解決することができます。複数のレベルの通信プロトコルをサポートし、ロボット制御のための50以上のソフトウェアコマンドを備えています。これにより、ロボットを外部コントローラでプログラム操作することができます。また、MECS UT0100は、ウェーハをツールから出し入れするためのトランスファーアームを備えた2段ウェーハハンドラです。これにより、アセットは迅速にウェーハにアクセスし、堅牢な処理機能を適用することができます。このモデルは、特に高真空システム用に設計されており、最適な真空制御と機器の健康状態を提供するために、さまざまなセンサーが装備されています。UT0100は、操作を最適化するためのフレンドリーで簡単に設定できるさまざまな機能を提供します。高度なエンコーディング機能により、全軸に沿って正確な制御が可能です。一方、サーボモータを搭載したツインドライブモジュールは、高精度な動きを実現します。さらに、ウェハハンドラは集中的なテストを受けており、完全なAPIスイートで認定されているため、ローカルまたはグローバルな生産環境に最適です。