中古 MECS CS-1000 #92900 を販売中

MECS CS-1000は、半導体材料を使用するために設計された真空タイプのウェハハンドラです。ウェーハの発行、洗浄、成膜、エッチングなど、さまざまな作業が可能です。ウェハハンドリング装置には、ウェハロード/アンロードポートと複数のウェハーに対応できる複数のサポートアームが含まれています。クローズドループ式の真空ハンドリングメカニズムを搭載し、ウェーハの安全なグリップを維持し、ハンドリング動作中の精度を確保します。ハンドラーは完全に密閉されたハウジングを使用して、ウェーハの安全で静かな取り扱いを保証します。システムはコンピュータ化された制御コンソールで動作し、ユーザーは特定のジョブに必要なパラメータをプログラムして設定することができます。これは、プロセスライン内の他のシステムと統合されるように設計されており、カスタマイズ可能なソフトウェアと高度なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が付属しています。ウェハハンドラは、洗浄およびエッチング処理用の不活性ガスユニットを備えています。不活性ガスは、ジョブチャンバー内のクリーンな環境を確保し、ウェーハの潜在的な汚染を低減するために、クローズドループ機に保管されています。このツールには、静電気や空気中の粒子を減らすのに役立つスクラバーアセットも内蔵されています。ハンドラーは耐久材料から成り、CEおよび北アメリカの安全基準に従うためにテストされます。メンテナンスを最小限に抑え、部品の長期的な信頼性を維持しながら、中断のない動作を提供するように設計されています。CS-1000は、幅広いプロフェッショナル半導体プロセスに適した信頼性が高く、使いやすく、安全なウェハハンドリングモデルです。これは、複数のウェーハを操作するための優れたソリューションであり、すべてのハンドリング操作で優れた結果を提供します。