中古 MAXTECH MAX-BD-WSIDRI-NK #9290157 を販売中

ID: 9290157
ヴィンテージ: 2012
Loaders 2012 vintage.
MAXTECH MAX-BD-WSIDRI-NKは、半導体ウェーハの移動、ロード、アンロード、アラインメントを目的としたウェーハハンドラです。このデバイスは、メインフレーム、モーターコントローラ、3軸ロボット位置決めシステム、容量性近接スイッチ、LEDコントローラなど、いくつかの異なるコンポーネントで構成されています。本体はアルミ板で構成され、剛性を最大限に引き出すFEM (Finite Element Model)を採用しています。モーターコントローラは、10ミクロンの精度で正確かつ確実にウェーハを配置するために必要な動きを提供するように設計されています。3軸ロボットの位置決めシステムは、ウェーハの3方向に正確な動きを提供するように設計されています。このシステムは、リニアエンコーダを使用して、ウェーハの各軸の位置と速度を正確に測定し、ウェーハの適切な配置を可能にします。静電容量近接スイッチは、接触せずにウェーハの存在を感知し、さらに精度を向上させるように設計されています。LEDコントローラを使用して、プロセスのさまざまなステップが完了すると、オペレータにリアルタイムでフィードバックを提供することができます。ハードウェアコンポーネントに加えて、MAX-BD-WSIDRI-NKはソフトウェアプログラムを使用してコマンドを実行し、オペレータにさらなるフィードバックを提供します。このソフトウェアは、パターン認識とopto-mechanicalアルゴリズムを使用して、ウェーハの精密な動きを実現します。また、ソフトウェアは、ウェーハを誤って損傷を防ぐための安全機能が含まれています。MAXTECH MAX-BD-WSIDRI-NKは、要求の厳しい半導体製造環境での使用に適した信頼性の高い堅牢なウェハハンドラです。ハードウェアコンポーネントはウェーハを正確かつ確実に配置することができ、ソフトウェアプログラムはパターン認識によって安全性と信頼性を最大限に高めるように設計されています。ウエハハンドラも操作とメンテナンスが簡単で、工場や研究所にも適しています。
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