中古 MANZ Z10 #9123461 を販売中

MANZ Z10は全自動ウェハ搬送・ハンドリング装置です。クリーンルーム環境でのウェーハの効率的かつ信頼性の高い輸送を可能にし、直径50mmから150mmまでのほとんどのウェーハサイズに対応できます。このシステムは、粒子の汚染を最小限に抑えるだけでなく、塵の発生を最小限に抑える完全に囲まれた設計です。操作者は、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して、ウェーハ処理操作を完全に制御できます。ローディング機構により、ウェーハカセットとFOUPの両方を個別または同時に処理することができます。Z10には、各ウエハの欠陥を検査できるビジョンユニットが装備されています。それは粒子、傷、壊れ目、および不均一性のポイントを検出できます。統合された欠陥検出機械は9。2マイクロメートルまでサイズの欠陥を検出できる非常に精密です。より正確な検査のために、製品の拡大版を表示することができます。ウェハハンドリング装置は、製品との人間の相互作用を排除し、エラーや汚染の可能性を低減するように設計されています。異なるサイズのウエハーが存在することを認識し、それに応じてロードヘッドの位置を調整することができます。このツールはまた、ウェーハの表面に異物を識別し、周囲のウェーハに潜在的な損傷を防ぎながらそれを拒否することができます。MANZ Z10は、手動プロセスの最大100倍の速度でウェーハをロードおよびアンロードすることができます。これにより、高速生産に最適であり、ウェーハの搬送と取り扱いのスループットを大幅に向上させることができます。真空グリップ技術を採用し、製品の安全かつ正確な転送を保証します。アセットには、アラートモデルと外部インターロック機能が付属しているため、オペレータは自信を持ってマシンを操作できます。全体として、Z10は精度と高速の両方を提供する堅牢で信頼性の高いウェーハハンドリング装置です。統合された欠陥検出システム、真空グリップ技術、および完全に密閉された設計により、パーティクルフリーの処理が保証され、汚染やエラーの可能性が最小限に抑えられます。ユニットも使いやすく、ハイエンド生産と研究用途の両方に適しています。