中古 MANZ Z-AU-101010 #9124723 を販売中

MANZ Z-AU-101010は、半導体ウェーハを正確かつ確実に処理するように設計されたハイエンドウェーハハンドラです。ウェーハの再現性が高く、高品質なハンドリング操作を幅広い動作と多様な構成で実行した実績があります。Z-AU-101010は、光学センサーとマルチツール機能を内蔵した3軸ロボット装置です。3つのロボットはX、 Y、 Z軸の移動機能を備えています。光学センサは、正確な位置フィードバックを実現する高解像度のレーザーベースのイメージングシステムです。マルチツール機能により、交換可能なツールヘッドを設置して、さまざまな独自の半導体製造操作を行うことができます。MANZ Z-AU-101010は、MEM、 RFID、メモリチップの製造に必要な半導体ファブ環境で使用するように設計されています。内蔵の安全機能により、クリーンルームなどの危険な環境でも安全に使用できます。ウエハハンドリングユニットは、2インチと4インチのウエハを扱うように設計されています。ロボットは、X軸とY軸に沿ってウェーハを360°回転させる機能と、Z軸の周りを90°回転させる機能を備えています。Z-AU-101010には高精度のリアルタイム部品ローカリゼーションモジュールが搭載されており、ウェーハ転送時にウェーハ処理機を常に正確に配置することができます。ツールは、ツールの状態だけでなく、ツールの寿命を監視し、ツールの交換が必要なときにユーザーに警告することもできます。MANZ Z-AU-101010は容易な取付けのために設計され、ウェーハの処理操作に必要な用具およびプログラムの一連が付属しています。ウェーハハンドリングアセットは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、機械を簡単かつ効率的に制御できます。ユーザーは、さまざまな操作のためのパラメータをカスタマイズすることもできます。Z-AU-101010は安全および正確さのためのISOおよびSEMIプロダクト標準に迎合的です。このモデルには自己診断機能も内蔵されており、必要に応じてパラメータを調整して最大限の信頼性とパフォーマンスを実現します。結論として、MANZ Z-AU-101010は高精度で信頼性の高い汎用性の高いウェハハンドリング装置であり、幅広い半導体製造に適しています。包括的な安全機能と直感的なユーザーインターフェイスにより、半導体ファブプロフェッショナルに最適です。