中古 MACTRONIX SWR-600 #9188737 を販売中

MACTRONIX SWR-600ウェハンドラは、半導体製造業界で使用される産業用グレードの自動精密プラズマ加工装置です。このシステムは水平配置用に設計されており、最大600mmのウェーハをロードするために特別に設計された複数のウェーハ搬送トレイが付属しています。125mm、 200mm、 300mm、 600mmを含むさまざまなサイズと種類のウェーハを受け入れることができます。単位はオールメタル構造から成り、耐久性のために塗られる粉です。ウェーハハンドラSWR-600、ウェーハトレイを回転させることなくウェーハのローディングまたはアンロードを可能にするピボットウェーハトレイを備えています。ウェーハを取り扱う際には、正確で穏やかで信頼性の高い設計で、プロセス中に破損しないように設計されています。さらに、プログラマブルシーケンサーモジュールが付属しており、ユーザーはウェーハの正確な位置と精密処理のためのウェーハトレイの速度を制御することができます。MACTRONIX SWR-600ウェーハハンドラの機能には、プロセスが完了したときにユーザーに警告する統合されたプロセス終了インジケータライト、手動で設定できる調整可能なウェーハの高さ、および偶発的な過剰処理を防ぐための内蔵の緊急停止スイッチが含まれています。また、マルチポジションのVacuumウェーハホルダーを備えており、ウェーハを確実に所定の位置に保持し、ユーザーが緊急停止後に処理の最後の層に戻ることができるVackum Resume機能を備えています。さらに、ダイナミックトラッキングマシンを搭載しており、トレイの位置を適切なウェハサイズに正確に調整して最適なローディングを行うことができます。ウェーハハンドラSWR-600、ユーザーが複数のウェーハサイズを簡単に切り替えることができ、幅広いプロセス要件に対応できます。また、ユーザーがウェーハを過剰に処理したり損傷したりするのを防ぐオートロック機能も備えています。さらに、このツールには、極端な温度と振動に耐えるように設計された工業用グレードの電気資産が搭載されています。これらの機能はすべて、ウェーハ処理に効果的で信頼性の高いメカニズムを提供するために組み合わされています。