中古 MACTRONIX Eureka UKA-825 #52725 を販売中

MACTRONIX Eureka UKA-825ウェーハハンドラは、直径8インチまでの半導体ウェーハを正確かつ正確に取り扱う完全自動化されたデバイスです。ウェーハを多層トレイまたはFOUPタイプの自動カセットに正確かつ安全に配置します。このハンドラは、ウェーハへのアクセスおよび輸送にEnvirotechダイレクトドライブピックアンドプレースモジュール（DPPM）を使用し、照明試験、化学蒸着、化学処理などの厳格なプロセスを対象としています。Eureka UKA-825の精密なモーションコントロール装置は、優れた再現性と低耐久性を提供するように設計されています。軸の動きは、高精度のブラシレスDCサーボモータによって駆動されます。高度なラダーセンシングシステムとクローズドループ位置フィードバックにより、動的な再現性と最大のプロセス安全性を提供します。MACTRONIX Eureka UKA-825は、超精密で反復可能なウェーハ処理に最適化されています。関節ロボットアームには堅牢なカンチレバーが装備されており、最も深いトレイや自動化されたカセットにウェーハを挿入して抽出することができます。その複数の真空ピックアップメカニズムとブレードエッジ搬送アクションは、ハンドリング中の傷を防ぎます。Eureka UKA-825は、コンパクトで省スペースのフットプリントで構築されており、あらゆる半導体加工スイートへの迅速かつ容易な統合を容易にします。非常に直感的なWebベースのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、リアルタイムのプロセス情報、重要なパラメータレビュー、徹底的なトレーサビリティを備えています。GUIはまた、ユーザーがカスタムレシピを開発し、エラー回復と予防メンテナンスを実行することを可能にします。MACTRONIX Eureka UKA-825は、非常に信頼性が高く安全であるように設計されています。外部汚染物質に対する完全なエンクロージャの監視および危険なガス抜き。多くの洗練された安全メカニズムは、デュアルロック安全インターロックユニット、緊急停止、ポイントツーポイント電源シャットオフ、モーター過負荷保護、障害安全指標などのハードウェアをさらに保護します。つまり、Eureka UKA-825ウェハハンドラは、高精度、再現性、安全性を必要とする半導体加工アプリケーションに最適化された次世代ウェハハンドリングマシンです。その高度な機能、堅牢な建設、プロセスの持続可能性の向上により、今日市場で入手可能な最高品質の基準を達成することができます。