中古 MACTRONIX Eureka UKA-650 #43947 を販売中

ID: 43947
ウェーハサイズ: 6"
Auto wafer transfer system, 6".
MACTRONIX Eureka UKA-650は、半導体ウェーハのハイスループット生産用に設計された先進的なウェーハハンドラです。このマシンは、8"、12"、18"ウェーハを含むウェーハの種類の非常に広い範囲を処理することができます。また、高いスループットレートを備えており、1秒間に最大4つのウェーハを自動的に処理できます。装置は、上部と下部の2つの主要なセクションで構成されています。上部セクションはシステムへのウェーハの入力を担当し、下部セクションはウェーハの出力を担当します。上部にはロボット制御基板テーブルがあり、処理前にウェーハを配置します。ロボットはウェーハを拾い上げ、ウェーハを下方に移動させるリフト機構に配置します。下のセクションには、処理済みまたは未完成のウェーハを保存する一連のスタッカーが含まれています。単位は非常に精密、正確、最も薄いウエハの処理を可能にします。ウェーハサイズと形状の広い範囲にわたって信頼性と一貫したパフォーマンスを提供するように設計されています。このマシンは、品質と欠陥のためのウェーハの検査を可能にする統合ビジョンツールを備えています。さらに、アセットには、エラーや機器の誤動作をオペレータに警告するアラームモデルも内蔵されています。UKA-650はまた非常にモジュール式で、さまざまな製造ニーズに合わせてカスタマイズすることができます。ウェーハの事前整列・検査が可能であり、幅広いウェーハ加工作業が可能です。システムには、ユーザーのニーズに最も適したプロセスパラメータのカスタマイズを可能にする、ソフトウェア制御オプションの完全なセットが装備されています。ソフトウェアはまた、複雑なシーケンスのプログラミングを可能にし、APIまたはオートメーションユニットを介して、他のマシンと統合することができます。Eureka UKA-650は、高度で信頼性の高いウェーハハンドラで、ウェーハのハイスループット生産に適した幅広い機能を提供します。高い精度と再現性、高度なオートメーションおよびソフトウェア制御オプションにより、複雑なウェーハ処理ニーズに適しています。そのモジュラー設計はまた機械の速い組み立てそして容易な維持を可能にします。
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