中古 MACTRONIX Eureka 450 #9124006 を販売中

MACTRONIX Eureka 450は、最大直径450mm、厚さ0。1mmの基板をフレキシブルなオートメーション機能で効率的に処理できるように設計された最先端のウエハハンドラです。サーボ駆動モータ2基で構成された精密運動装置を搭載し、様々な基板処理機能を実現しています。高精度で反復可能な性能を確保するために、モータは高度なデジタルサーボコンタリングによって制御される単一のシステムに同期されます。この洗練された運動ユニットは、X-Y-Z軸に基板を配置したり、位置オフセットを校正したりすることもできます。Eureka 450には、統合されたリニアトランスミッションとオートフォーカスキャナ、多位置重基板テーブル、モジュラーウェーハソーターなど、いくつかのユニークな機能が装備されています。内蔵のリニア伝送により、基板の正確かつ高速なルーティングが可能です。オートフォーカスキャナは、基板の位置に応じてレンズの焦点を調整し、基板の画像を素早くキャプチャすることができます。マルチポジションヘビー基板テーブルは、最大20kgの重量をサポートし、9インチウェーハを一度に搭載することができます。最後に、モジュラーウェーハソーターには、さまざまな基板サイズをすばやくソートするためのインデックス作成メカニズムが組み込まれています。MACTRONIX Eureka 450には、ウェーハの取り扱いを容易かつ迅速にする複数の自動機能が搭載されています。例えば、ハンドラは自動的に任意の基板のずれを検出するだけでなく、任意の傷や欠陥を検出するためにギャップと高さの情報を測定することができます。このモデルは、自動的にエッジ検出し、仕様外の基板を拒否する機能も備えています。さらに、Eureka 450は、トランスファー用の負荷基板の準備など、真空チャネルおよびゲートバルブイベントの自動化を提供し、複雑な手動操作を削減できます。MACTRONIX Eureka 450は、幅広い基板処理を可能にする高度なウエハハンドラです。精密モーションツールと追加の自動機能により、Eureka 450はあらゆる工場フロアに最適です。