中古 MACTRONIX BBS-413 #9165924 を販売中

MACTRONIX BBS-413は、研究開発や生産施設での使用を想定して設計された全自動ウェハハンドラです。4インチおよび8インチの半導体ウェーハ、およびマスク、基板、およびその他の非標準ウェーハサイズを扱うことができます。BBS-413は、効率的な真空ベースウェーハハンドリングを利用しており、ハンドラとウェーハ表面を直接接触することなく、正確で反復可能なウェーハ配置を保証します。Edge-Inトレイマガジンを搭載しており、最大92個の4インチまたは48個の8インチのウェーハを一度にロードおよびアンロードすることができます。Vacuum Chuckは、検査、ウェハローディング、アンロード、および温度伝達ステップ中に半導体ウェーハを確実かつ正確に保持することを保証します。MACTRONIX BBS-413は、ウェーハの自動回転やウェーハのパージ（ウェーハクリーニングとも呼ばれます）を実行し、ハイテク生産でクリーンなウェーハのみを使用することができます。また、4インチおよび8インチのウェーハの差動熱膨張を補償することもできます。BBS-413には優れた温度制御システムが装備されており、ユーザーはハンドラーと環境に異なる温度レベルを設定することができ、ヒーターは必要な温度に迅速かつ効率的にウェーハをウォームアップすることができます。MACTRONIX BBS-413には、ハンドラ上の変化パラメータを追跡するリアルタイム自動キャリブレーションおよび静電気防止モニタリングオプションが装備されており、ユーザーはウエハハンドリング中も制御を維持できます。安全インターロック機能により、ハンドラが動作中に突然開かれないようにします。BBS-413は、オートメーションシステムと簡単かつ直感的に統合することができ、生産および研究施設での自動ウェーハ処理に最適なソリューションです。