中古 LG PRI Wafer transfer system #293662060 を販売中

LG PRI Wafer transfer system
ID: 293662060
ウェーハサイズ: 18"
ヴィンテージ: 2014
18" 2014 vintage.
LG PRIウェハトランスファー装置は、半導体デバイスの組立において効率的で高品質なウェハトランスファーを提供するように設計された洗練された自動ウェハハンドラです。この革新的なシステムは、高度なロボティクスと統合ビジョンユニットを使用して、正確なウェーハの動きと位置決めを保証します。この機械は、ウェーハキャリア、ロボット、多軸多段モーションツールなど、いくつかの機械化されたコンポーネントで構成されています。各コンポーネントは連携して、ウェーハ転送プロセスにおける最高の精度と再現性を提供します。ウェーハキャリアは、潜在的な損傷を最小限に抑えるために細心の注意を払ってウェーハを保持および輸送するように設計されており、さまざまなウェーハタイプをサポートするための特別なハンドリングメカニズムが装備されています。振動減衰材料とバランスの取れた重量配分を使用して、これらのキャリアは、ウェーハが転送プロセス中に安定して安全であることを確認します。また、ウェハハンドラには、正確で正確なモーションコントロールを提供する高速ロボットアームが装備されています。ロボットアームは、リニア電動アクチュエータによって駆動され、アセット内でウェーハを正確かつ迅速に移動させ、サイクル時間を短縮し、スループットを向上させるように設計されています。多軸多段モーションモデルは、ロボットアームに接続されており、ウェーハ転送プロセスを制御するための追加のレベルを提供します。高精度のサーボモータによって駆動され、正確な座標制御とツール固有のモーションパスを備えています。これにより、ウェーハの配置、位置、寸法を正確に考慮することができます。最後に、最適な精度を確保するために、システムは高度な光学センサーを使用して統合ビジョンユニットとペアリングされます。このビジョンマシンは、ウェーハの配置と動きを正確に検出して追跡し、欠陥のあるウェーハ部品を拒否するように設計されています。このビジョンとモーションシステムの組み合わせにより、機械全体の精度と信頼性が大幅に向上します。全体として、ウェーハ転送ツールは包括的な自動ウェーハハンドリングソリューションであり、サイクルタイムを最小限に抑えて正確で信頼性の高いウェーハ転送を提供するように設計されています。高度なロボティクス、多軸運動、光学ビジョンを組み合わせることで、あらゆるウェーハ処理アプリケーションにおいて信頼性の高い正確なプロセスを実現します。
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