中古 LG PRI Wafer checker #293662058 を販売中
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LG PRIウェーハチェッカーは、クリーンで正確でエラーのないウェーハハンドラです。ウェハハンドラは、革新的なウェハレセプタクルとロボットアームアセンブリを使用して、カセットからウェハチェッカーへの自動ウェハ転送を可能にし、正確で効率的なウェハハンドリングプロセスを可能にします。ロボットアームアセンブリは、高度な視覚検出技術を使用してウェーハ情報を収集し、LG PRIウェーハチェッカーソフトウェアによって検証および分析されます。ウエハサイズ、厚さ、高さ、傾きなどのデータは、高度なイメージング技術によって正確に収集されます。ウエハーの傾斜角を超高精度に検出し、傾斜角が1度以上のウエハーを自動的に検出して廃棄します。ロボットアームは、ウェーハのどのコーナーや表面でも異常や摩耗を検知することができ、ウェーハを回転させて簡単に検査することができます。ロボットアームは、物理的なストレスを検出することができ、それによってさらなる損傷を防ぐことができます。これにより、ウェーハ製造における信頼性の高いハンドリングと品質管理プロセスが保証されます。ウェーハチェッカーには、ウェーハチャンバー内の温度、湿度、圧力などの環境変数を維持するための高度な空気供給装置も装備されています。これにより、ウェハハンドリングシステムを通じてウェハが損傷または汚染されないようにします。LG PRIウェハチェッカーには、インテリジェントで正確な方法で機器間通信と連続動作のための高度な通信ユニットも含まれています。このリアルタイムデータ伝送により、ウェーハの効率的な処理と信頼性の高い処理が保証されます。ウェーハチェッカーの清浄度と精度を最大限に高めるため、本体内外に高度なダストリムーバーを搭載しています。これにより、プロセス中にほこり、汚れ、汚れがウェーハに転送されないようにします。このツールはすべて自動化されており、すべての操作が最高の精度と清潔さで実行されるようになっています。LG PRIウエハチェッカーは、高精度、高信頼性、安全性に優れ、高精度ウエハハンドリングのトータルソリューションを提供します。
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