中古 LAM RESEARCH 002-0016-04 #293669986 を販売中

LAM RESEARCH 002-0016-04は、シングルウェーハとマルチウェーハプロセスの両方をサポートし、200mmウェーハの高いスループットと信頼性の高いハンドリングを実現する多機能ウェーハオートメーションハンドラです。装置は誘電体の壁、粒子によってろ過される再循環/出口、容易なアクセス港および取り外し可能なウエハートレイとかなり減らされた空気の粒子で設計され、工作物および用具の完全性を保護するのを助けます。002-0016-04ハンドラーは広範囲の温度上の高速、精密および反復可能な動きを提供するように設計されています。精度、速度、再現性に優れた各種センサーやモーションコントローラを搭載しています。また、パワーとスピードのための高モータトルクシステム、プログラム可能なユーザーインターフェース、および使いやすさを確保するための直感的な操作ユニットを備えています。クリーンルーム環境を必要とするアプリケーションのために、LAM RESEARCH 002-0016-04ハンドラは、製品の完全性と均一性を確保するために、空気ろ過、粒子および温度監視、および湿度制御の3段階を使用しています。また、さまざまなツールフォーマットやウェーハサイズに対応できるように設計されており、柔軟性とコスト効率を最大限に高めるためにプロセスを最適化することができます。このツールは、室温から摂氏300度までのさまざまな作業環境で幅広い温度でウェーハを操作する機能を提供します。また、複数のウェーハ構成と転送を必要とするプロセスをサポートすることもできます。このアセットは、高精度のモーションコントローラとエンコーダベースのモデルを使用して、すべてのウェーハ転送に一貫した精度と再現性を提供し、毎回完璧なアライメントを実現します。002-0016-04ハンドラーはユーザーエクスペリエンスを高めるさまざまな技術が装備されています。高速カメラシステムを搭載し、検査、位置決め、アライメント機能を実現しています。また、プログラマブルロジックコントローラを備えているため、迅速かつ効率的なウェーハ処理のためにパラメーターを簡単にプログラミングできます。LAM RESEARCH 002-0016-04ハンドラーは安全で、信頼できる職場を提供するように設計されています。作動中の人員を保護しながら、空中粒子からの汚染のリスクを排除するために、気流保護技術を備えています。さらに、ユーザーが安全に機器を操作できるようにするさまざまな安全機能が含まれています。002-0016-04ウェーハハンドラは、多種多様なマルチウェーハおよびシングルウェーハプロセスアプリケーションに最適なツールです。信頼性、精度、再現性に優れているため、信頼性の高いウェハハンドリングシステムを必要とする半導体業界の誰にとっても理想的な選択肢です。