中古 KUKA VKR150/2 #9267570 を販売中

KUKA VKR150/2は、KUKA Roboticsが半導体産業で使用するために開発したウェハハンドラです。高信頼性かつ堅牢なウェーハハンドリング装置であり、大量の製造作業において効率的で安全で正確なウェーハハンドリングを提供するよう設計されています。2つの「x 2」または2。5 「x 2。5」ウェーハを取り扱うように設計されており、最大重量はそれぞれ150gです。システムにはサーボドライブが内蔵されており、正確かつ再現可能な動作を保証し、ウェーハの正確かつ正確な配置を可能にします。メカニカルユニットは、一連の電動部品、コントローラ、インテリジェントモーションコントロールマシン、および高解像度エンコーダフィードバックツールで構成されています。電動部品はウェーハをスムーズかつ正確に移動させ、コントローラとモーションコントロールアセットはカスタマイズされたウェーハのハンドリング動作に完全にプログラム可能です。さらに、精密フィードバックモデルにより、あるアプリケーションから別のアプリケーションへのウェーハの正確な配置が可能になります。また、VKR150/2は特許取得済みのヘッドデザインを採用しており、x、 y、 z平面で最大3つのウェーハを同時に処理することができます。また、独自の高精度供給装置を備えており、高い精度と再現性でウェーハを配置することができます。ウエハハンドリング機能に加え、統合カメラユニットによるウエハ分類、ウエハオリエンテーション認識、ウエハ検査・品質管理も可能です。この機械は安全性と信頼性を念頭に置いて設計されており、IEC 61508およびEN 13849-1を含む安全規制に準拠するように設計されています。また、半導体業界における厳しい要件を満たすように設計されています。このツールは、厳格な品質管理基準で設計されており、高品質のウェーハハンドリングソリューションを提供することができます。要するに、KUKA VKR150/2は半導体業界で使用するためにKUKA Roboticsによって開発された信頼性の高い堅牢なウェハハンドラです。安全性と信頼性を念頭に設計されており、x、 y、 z平面で最大3つのウェーハを同時に処理することができ、高い精度と再現性を備えています。統合サーボドライブと、ウェハ分類、ウェハ指向認識、ウェハ検査/品質管理などのインテリジェントな機能を備えており、使いやすさとパフォーマンスを向上させています。