中古 KUKA KR60-3/FLR #293800712 を販売中
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ID: 293800712
ヴィンテージ: 2020
Dispensing robots
P/N: 0010021620 / 11082400
Range: 2033 mm
KR C4 Robot control unit
Running hours: 7500
Position;176/177
2020 vintage.
KUKA KR60-3/FLRは、半導体製造環境における高精度な動作を実現する最先端のロボットウェハハンドラです。この先進的なロボットは、産業用ロボットの世界的リーダーであるKUKAによって設計されています。KR60-3/FLRはKR QUANTECシリーズの一部であり、様々な産業用途において優れた性能、信頼性、柔軟性で知られています。このKR60-3/FLRは、半導体デバイスの製造に使用される繊細なウェーハを処理するために特別に調整されています。このロボットは、精度とスピードを備えており、製造プロセス全体にわたってウェーハを安全かつ効率的に転送することができます。このロボットの設計は、最大60kgの高いペイロード容量を内蔵しており、複数のウェハを同時に処理するのに適しており、半導体製造設備の生産性を最適化しています。KUKA KR60-3/FLRの主な特徴の1つは、ウェーハの取り扱いにおいて幅広い動作と柔軟性を可能にする6軸アームです。このロボットのキネマティック構造は、滑らかで正確な動きを可能にし、ローディングとアンロードのプロセス中にウェーハの正確な位置決めとアライメントを保証します。この精度は、脆弱なウェーハの損傷を防ぎ、最終製品の完全性を維持するために半導体製造に不可欠です。KR60-3/FLRには高度なセンサーとビジョンシステムが搭載されており、ウェーハの処理能力を高めています。これらのセンサーは、ロボットが照明条件の変化やその経路に障害物が存在するなど、環境の変化を検出して適応することを可能にします。ビジョンシステムの統合により、トレイやキャリアからウェーハを識別して拾う際のロボットの精度と効率がさらに向上し、生産品質と歩留まりが向上します。さらに、KUKA KR60-3/FLRは、半導体製造設備で一般的に使用されるオートメーションシステムとシームレスに統合できるように設計されています。このロボットには業界標準の通信インターフェースが装備されており、ウェーハ加工機やコンベアシステムなどの他の機器との簡単なプログラミングと制御の統合が可能です。この相互運用性により、製造プロセスを合理化し、より高いレベルの自動化と効率を実現できます。技術的な能力に加えて、KR60-3/FLRは堅牢で耐久性のある構造を誇り、要求の厳しい産業環境での長期的なパフォーマンスと信頼性を保証します。このロボットは、高品質の材料と部品で構築されており、過酷な使用と厳しい条件に耐えることができ、24時間365日の製造作業に最適なソリューションです。メンテナンス要件の低さと長寿命により、半導体メーカーのTCO(総所有コスト)の削減に貢献しています。全体として、KUKA KR60-3/FLRは、半導体製造におけるウェーハ処理アプリケーションのための最先端のソリューションです。このロボットウェーハハンドラは、精度、スピード、汎用性、統合機能を備えており、製造プロセスの最適化、製品品質の向上、競争の激しい半導体産業の全体的な生産性の向上を可能にします。
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