中古 KUKA KR350 #9000716 を販売中

KUKA KR350は、半導体およびマイクロ電気機械システム（MEMS）製造業界で使用されるウェハハンドラです。KR350は、大量のウェーハ処理アプリケーション用に設計された多軸ロボットです。垂直設計で、チップを素早く正確に動かすことができます。また、超小型フットプリントも備えているため、狭くて狭い作業スペースに最適です。KUKA KR350には、2次元平面でチップを移動するための1 次Z軸と2 次X軸、および動作中にウェーハを傾けるための3 次Y軸を含む3軸があります。コンパクトなボディフレームと高度な制御システムを備え、最高の精度を保証します。KR350は、Z軸の全速度が毎秒1。5メートルで、さまざまな速度を提供します。これにより、1秒あたり120万回のマイクロ・ポジショニング・モーションの最大単軸スループットが可能になります。堅牢な動作を確保するために、KUKA KR350には、主要なウェハ移動操作を監視するためのさまざまなセンサーが装備されています。また、統合された安全インターロックシステムと、精度を向上させるための速度制御モードが含まれています。KR350は、ウェーハレベルのナビゲーション制御システムも強化されており、チップの正確かつ正確な取り扱いと、オペレータの利便性のためのグラフィカルユーザーインターフェイスを実現しています。KUKA KR350は信頼できる性能のために造られ、20ナノメートル低い再現性の周期を行うことができます。マニピュレータやフレームなど、総重量約15kgの固定部品シリーズを搭載しています。これは、既存の生産ラインにすばやく簡単に統合できることを意味します。KR350は柔軟性も高く、複数のアプリケーションやタスクに使用できます。全体として、KUKA KR350は半導体やMEMS製造業界に最適な信頼性と正確なウェハハンドラです。高速、低サイクルタイム、高精度で、タイトで限られた生産環境に最適なソリューションです。