中古 KUKA KR125L #9000712 を販売中

KUKA KR125Lは、炉や洗浄機などの工具へのウェーハの積み降ろしを簡素化するために設計されたウェーハハンドラです。これにより、2つの異なるツール間でウェーハを安全に輸送することができます。KR125Lは6列のスロットを備えたステンレス製のパネルを備えており、ウェーハを水平または垂直にロードできます。ロボットアームには4つの異なるウエハキャリアが装備されており、それぞれ1つのウエハーを1つのカルーセルごとに転送することができます。これらのキャリアは、コンピュータ駆動のシーケンスに配置され、ウェーハの振動や損傷の可能性を排除するために空気圧で作動します。ロボットアームには、18個の独立したセンサーと2つのレーザダイオードを備えたビルトインビジョンシステムが搭載されており、ローディングとアンロードの前にウェーハと工具の位置を正確に検出します。KUKA KR125Lウェーハハンドラには、TranTestソフトウェアを搭載したタッチスクリーンコントロールパネルが装備されており、オペレータはロボットのパラメータと走行条件を監視および変更することができます。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、ユーザーはロボットの状態を確認または設定し、診断グラフによってロボットのパフォーマンスを監視およびデバッグし、ウェーハの位置と状態を制御することができます。KR125Lはまた、ウェーハの動きに対する抵抗を提供する機械的フィードバックシステムが装備されており、乱流および高速移動中のウェーハの安定性が向上します。KUKA KR125Lは、ウェーハの安全・安心な取り扱いのために、機械の衝突やウェーハの損傷を防ぐために必要なリミットスイッチ、バンプ検出器、ガードライトを装備しています。安全なガードエンコーダを介して、ロボットはキャリッジがガードウィンドウに近づいたときに急激な速度の変化を検出し、遅くなり、突然の変化が特定のしきい値を超えると動作を停止します。KR125Lウェハハンドラは、業界最高水準に準拠し、製造および安全機能のISO 9001規格を満たしています。そのモジュラー設計は優れた保守性を容易にし、既存の機器との統合のための代替オプションを可能にします。さらに、スペースが限られているアプリケーションに最適な、小さなフットプリントを備えています。KUKA KR125Lウェーハハンドラは、ウェーハの正確かつ安全な積み下ろしを提供するために設計された信頼性の高いロボットです。