中古 KOBELCO / LEO LRW #293642528 を販売中

KOBELCO/LEO LRWは、さまざまな半導体ウェーハの輸送、追跡、テストを目的としたウェーハハンドラです。これは、既存の半導体製造プロセスと容易に統合する完全自動化ソリューションです。LEO LRWは、+/-0。3 mgに精度の高い高精度の計量およびハンドリング機器を備えており、サイズと重量の範囲でウェーハを収容することができます。このシステムは、最大254個のウエハーのバッチサイズと、大容量・大規模生産の高密度ウエハーに対応するように設計されています。また、ウェハハンドラは、最大処理速度70mm/秒の高速ロボットユニットを備えています。このマシンは、メンテナンスコストを最小限に抑えながら生産性を最大限に高めるように設計されており、正確で反復可能な動作を保証するためにレーザーセンサーを装備しています。KOBELCO LRWは、人員と機器の両方の安全を確保するための安全機能の範囲を備えています。これらには、ウェーハへの潜在的な損傷を検出する2つのリミットスイッチと、ウェーハ破損のリスクを低減するデュアルゾーンバッファゾーンが含まれます。LRWはウェーハの取り扱いに加えて、精度検査や品質管理チェックを行うことができます。反射率、スループット率、その他のパラメータなど、ウェーハのさまざまな特性を測定できます。これにより、より高品質のウェーハを生産し、製造プロセスをより良く制御することができます。KOBELCO/LEO LRWには、Webブラウザを使用して任意の遠隔地からプロセスの状態を監視するためのオンラインモニタリングツールが含まれており、エラーが発生した場合にオペレータに警告することができるリモートアラームアセットが装備されています。全体として、LEO LRWは半導体業界のニーズを満たすように設計された先進的で高効率なモデルです。計量およびハンドルシステム、ロボティクス、品質テスト、遠隔監視機能など、幅広い機能を備えたこのウェハハンドラは、精度と精度であらゆる処理要件を処理することができます。