中古 KMR MR220 #9392924 を販売中

KMR MR220は産業用途で使用されるウェハハンドラです。製造工程で使用される繊細な半導体ウェーハを収容するように設計されています。本装置は、ホコリや汚染物質がシステムに侵入するのを防ぐことで、ウェーハの環境を安定させる空気密着装置を採用しています。また、温度と湿度を維持してウェーハの寿命を延ばし、ウェーハの整合性を最適化します。このユニットはシンプルで効率的なユーザーインターフェイスを備えているため、制御と操作が簡単です。このユニットはキャスターに取り付けられており、簡単な操作性のためのコンパクトなサイズを提供しています。MR220の広いボディデザインは、大型ウェーハの最大クリアランスを作成し、ユーザーがユニット内に最大22ウェーハカセットを格納することができます。このマシンは、精密な速度とトルク制御を保証するESS可変周波数ドライブによって駆動され、スムーズな動作と正確な結果を得ることができます。KMR MR220は、圧力監視ユニット、アラームマシン、自己閉鎖ドアなど、多くの組み込みの安全機能を備えています。また、2つの外部ポートがあり、マシンを外部デバイスに接続できます。ユニット内部はLED照明で照明されており、ウェーハを通過中に容易に観察することができます。この機械には、必要に応じてユニットからほこりや粒子を除去する真空ツールも含まれています。MR220は、ウェーハの加工中に汚染物質が機械に侵入するのを防ぐ高効率のエアフィルターアセットを備えています。フィルターモデルの設計により、汚染によるウェーハ損傷の可能性を最小限に抑えます。このユニットはまた、高速ハンドラと複数のヘッドの実装により、迅速なウェーハ交換機能を提供します。KMR MR220は、簡単なメンテナンスと迅速なプロセス設定のために設計された多くの機能を提供しています。このデバイスにはサーボ機器が含まれており、即座に迅速な校正と調整が可能です。ユニットは高度に自動化されており、完全な無人生産を可能にします。また、エラーをすばやく特定し、問題が発生したときに通知を送信する自己診断システムも含まれています。MR220は、半導体製造業界における安全性と精度に対する最も厳しい要件を満たす堅牢なウエハハンドラです。これは、今日の産業用途に必要な生産量と精度に、信頼性と正確な性能を提供するように設計されています。