中古 KLA / TENCOR UltraScan 9000 #293660077 を販売中

KLA / TENCOR UltraScan 9000
ID: 293660077
ヴィンテージ: 2004
Wafer metrology system 2004 vintage.
KLA/TENCOR UltraScan 9000は、最新の半導体製造プロセス向けに設計された次世代ウェハハンドラです。この装置は、優れたスループットと信頼性を提供しながら、ウェーハの検査と分析に高性能を提供します。9000は、ハンドラーヘッド、SEMI標準マガジンローダー、プロセスチャンバーなど、機械のさまざまな部品間でウェーハを迅速に転送するために、全自動の高速ピックアンドプレイスロボットシステムを使用しています。これにより、取り扱い中にウェーハが損傷しないようにします。このユニットには高度な光学系も装備されており、優れたウェーハイメージングソリューションを提供します。この光学系は、1時間あたり最大1000個のウェーハから画像をキャプチャすることができ、正確なウェーハのサイズと形状の複雑な画像を提供します。さらに、KLA UltraScan 9000は、ウェーハ表面の汚染領域を検出する多軸偏光機能を備えています。TENCOR UltraScan 9000の高精度と再現性により、予測品質分析からフォルト検出まで、さまざまなアプリケーションに最適です。ウェーハ形状の欠陥を検出することができ、わずかな欠陥でも検出でき、数ミクロン以内で欠陥を正確に検出することができます。ユニークなパターン認識アルゴリズムを使用して、欠陥のパターンを識別し、正確にターゲットを絞った修復を可能にします。UltraScan 9000は、6、8、12、14インチなど、さまざまなウエハサイズで使用できるように設計されています。また、ウェーハサイズの将来の変更にも対応できるように柔軟に設計されています。機械はウェーハの精密な温度調整を保障するためにプログラム可能な熱い版のようなさまざまな他の付属品と、利用できます。さらに、このツールには、最大の稼働時間と効率のためのリモート監視および制御アセットが装備されています。KLA/TENCOR UltraScan 9000は、最も厳しい業界要件を満たすように設計されており、SEMI S2オートメーション規格に認定されています。これにより、モデルは信頼性が高く、安全で、高品質であることが保証されます。また、コンタミネーション制御にGスキャンを使用することや、最新の光学アライメント技術など、厳しい安全ガイドラインに従っています。全体として、KLA UltraScan 9000は、信頼性の高い高品質の結果を提供する高度な自動ウェーハハンドリングソリューションを提供します。その高速かつ正確な性能と柔軟性と安全性の特徴は、半導体製造事業にとって理想的な選択肢です。
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