中古 KLA / TENCOR Single FOUP / FIM handler for SP1 #9255159 を販売中

KLA/TENCOR Single FOUP/FIM handler for SP1は、半導体ウェハの搬送・保管を目的としたウェハハンドリング装置です。クリーンで汚染のない環境で、ある場所から別の場所にウェーハを転送するために使用されます。このハンドラには、自動FOUP（前開きユニファイドポッド）またはFIM（前開き統合モジュール）が装備されており、KLAのSP1 SmartSpectroフォトマスク検査システムで使用するために特別に設計されています。ハンドラーは、基地局、上部輸送モジュール、および1つ以上の輸送キャリアで構成されています。ベースステーションは、ハンドラが配置されたベースであり、高さを調整することができます。ハンドラは、濡れたベンチや他の表面にも取り付けることができます。上部搬送モジュールは、ベースステーションの上下にウェーハを持ち上げるために使用されます。メンテナンスまたはクリーニングのために取り外すことができます。トランスポートキャリアは、FOUPからウェーハを挿入して取り外し、ある場所から別の場所に移動するために使用されます。キャリアはまたクリーニングのために取除くことができます。FOUP （Front Opening Unified Pod）とFIM （Front Opening Integrated Module）は、ウェーハを安全に保持し、汚染から保護するように設計されています。それらは、ウェーハがほこりや他の汚染物質と接触するのを防ぐ不活性材料から作られています。FOUPはウェーハを保護し、その向きを一貫して維持するための統合実装ユニットですが、FIMは最大16個のウェーハをサポートするように設計されており、並列処理が可能です。ハンドラーは反復可能で、信頼できる操作を提供するように設計されています。傷や汚れを最小限に抑える低摩擦機を搭載し、運転中の人為的ミスのリスクを最小限に抑えるよう設計されています。このハンドラーは、FOUPまたはFIMの自動キャリブレーションと、安全かつ安全にウェーハを取り出して配置する引き込み式の真空ノズルも備えています。また、FOUPとFIMは交換可能に設計されており、複数のウェーハ処理ジョブをすばやく簡単に切り替えることができます。KLA SP1用シングルFOUP/FIMハンドラは、効率を最大限に高め、コストを削減するために設計された信頼性の高い堅牢なウェーハ処理ツールです。半導体製造アプリケーションに最適であり、その高度な機能により、ウェーハを安全かつ信頼性の高い方法で輸送することができます。