中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX C2C #293646053 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX C2Cは、半導体産業におけるウェーハ製造プロセスを容易にするように設計されたウェーハハンドラです。この高度なロボットツールは、小型化されたフットプリントをサポートし、柔軟性と拡張性を提供するモジュラー設計を備えています。KLA C2Cは、プロセスの正確な再現性やスループットの向上など、半導体製造における重要な要件に対応するよう設計されています。TENCOR C2C装置には、ロボット、ロボット制御システム、プロセスヘッド、コントローラ、空圧などのさまざまなコンポーネントが含まれています。ロボットは6軸、多軸連結ロボットアームで、各軸は複数のブラシレスサーボモータで駆動し、正確な位置決めと制御を行います。ロボット制御ユニットは、制御と精度を向上させるために、複数の処理パワーコンピューティングと制御モジュールで構成されています。ロボットコントローラは、より一貫した結果と高いスループットを容易にするために、自動化された操作にカスタムアルゴリズムを実行します。プロセスヘッドには、処理シーケンスを介して個々のウェーハを搬送する複数のヘッドが含まれています。高精度の空気圧により、プロセスヘッドの精密かつ再現可能な動作が保証され、個々のウェハの再現可能な処理をサポートします。PROMETRIX C2Cウェハンドラは、複数の自動機能をユーザーに提供するように設計されています。これには、複数のプロセスヘッドの組み合わせを使用して複数のウェーハを一度に処理する機能と、1つまたは複数の宛先にウェーハをアンロードして移動する機能が含まれます。C2Cはまた、ウェーハの正確な取り扱いを維持しながら、熱衝撃、ほこり、汚染から保護する自動インデックス作成機能を備えています。KLA/TENCOR/PROMETRIX C2Cの高効率処理プロセスと同様に、サイクル全体にわたって正確なプロセス再現性を提供します。これにより、生産量が一貫して信頼できるため、費用対効果と収益性を維持できます。さらに、KLA C2Cのカスタマイズされたユーザーインターフェイスは、自動化されたプロセスのカスタマイズされた制御のためのさまざまなプロセス設定を提供します。この包括的なソフトウェアスイートにより、シンプルで複雑なウェハハンドリングのニーズに対応できます。また、自動化されたプロセスの進捗状況の追跡と工具性能の評価に役立つ包括的な機械監視モジュールをユーザーに提供します。この機能は、資産のメンテナンスおよびトラブルシューティング操作もサポートします。全体として、TENCOR C2Cウェーハハンドラは、半導体ウェーハ製造プロセスの要件を満たすように設計された先進的なロボットツールです。PROMETRIX C2Cは、正確で再現性の高いプロセス再現性と高いスループットを提供し、高効率で費用対効果の高いオートメーションソリューションです。