中古 KLA / TENCOR Phoenix DC #9401091 を販売中

KLA/TENCOR Phoenix DCは、半導体加工アプリケーションにおける自動ウェハハンドリング用に設計されたハイエンドのモジュール式ウェハオートメーションハンドラです。同社のPhoenix製品ファミリーの一部であり、スループットのための厳しい要件を備えたチャレンジングなアプリケーション向けに特別に設計されています。KLA Phoenix DCは、高速で柔軟な動作と堅牢な信頼性を提供するために構築された最先端のウェハハンドラです。柔軟なマシンアーキテクチャにより、アプリケーションの正確なニーズに合わせて構成をカスタマイズできます。機械のモジュラー力学および設計は容易に機械の個々の要素へのサービスそしてアクセスを可能にし、ダウンタイムを減らし、そして高性能を保障します。TENCOR Phoenix DCは、モーション同期とモーション中断を利用した高度なモーションコントロール装置を提供しています。これは、統合された振動絶縁サポート構造とともに、静かで一貫した動作環境を確保し、一貫した正確で高いスループット動作を実現する理想的なプラットフォームです。フェニックスDCの高速で一貫した動作は、高度なウェーハ検出および転送システムによってさらに強化され、完全に自動化されたウェーハ処理プロセスを可能にします。また、ウエハ操作ユニットを内蔵しており、正確なウエハ操作と配置が可能です。KLA/TENCOR Phoenix DCは、さまざまな安全機能を提供し、効率的で安全な操作を保証します。それは機械のハードウェアおよびソフトウェア部分への無許可のアクセスを防ぐ高レベルの保証機械を支えます。また、機械の動作を監視し、潜在的に危険な発生から保護するために、さまざまなハイテクセンサーを備えています。さらに、KLA Phoenix DCは遠隔診断サービスとサポートを提供しており、技術者は遠隔地からマシンにアクセスできます。これにより、問題が迅速かつ簡単に検出および解決されます。TENCOR Phoenix DCは信頼性が高く、効率的で安全性の高いウェハハンドラであり、優れたウェハハンドリング精度を必要とするアプリケーションに最適です。また、高いスループット、精度、安全な動作を必要とするアプリケーションにも最適です。