中古 KLA / TENCOR Phoenix DA2 #9285836 を販売中

KLA/TENCOR Phoenix DA2は、ウェーハ製造プロセスの自動化のために設計されたウェーハハンドラです。KLAフェニックスDA2装置は、トランスファーチャンバー、サンプルチャンバー、カセットチャンバー、プリアライメントチャンバー、ファインアライメントチャンバー、2つのスプリットチャンバー、エンドエフェクターなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。このトランスファーチャンバーは、システムのさまざまなチャンバー間でウェーハを移動するために使用され、サンプルチャンバーはサンプルを作成するために使用され、カセットチャンバーは処理されたウェーハを格納するために使用されます。プレアライメントチャンバーは、搬送チャンバに入る前にウェーハを検査するために使用され、ファインアライメントチャンバーはウェーハをより正確に検査するために使用されます。2つの分割チャンバは、ウェーハを2つの別々の部品または2つの半分に分割するために使用され、エンドエフェクタはウェーハのロードとアンロードに使用されます。TENCOR Phoenix DA2ユニットは、製造プロセス全体でウェーハのずれを自動的に検出し、修正する機能を備えています。スキャン、クリーニング、ソート、配置、プロービング、ピンセットなど、さまざまなタスクを実行できます。この機械は、さまざまなサイズと厚さのウェーハに正確なアライメントを提供するように設計されており、さまざまなタスクのためのさまざまな工具を装備することができます。さらに、Phoenix DA2はさまざまなソフトウェアパッケージと互換性があり、ユーザーの特定のニーズに合わせてカスタマイズすることができます。KLA/TENCOR Phoenix DA2ツールは信頼性が高く、低コストの所有権を提供します。スループットが高く、汚染のリスクが低く、他のシステムよりも設置面積が小さい。このアセットは使いやすく設計されており、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス、手動制御のサポート、およびさまざまなプログラム可能な機能が含まれています。さらに、このモデルには、自動故障検出や回復などの多くの安全機能があります。全体として、KLA Phoenix DA2は、製造プロセスの自動化のために設計された高度で信頼性の高いウェハハンドラです。スループットが高く、所有コストが低く、他のシステムよりも設置面積が小さいため、さまざまな製造プロセスに適しています。さらに、装置にはいくつかの安全機能が装備されており、ユーザーの特定のニーズを満たすために複数のプログラム可能な機能があります。