中古 KLA / TENCOR Phoenix D 1.2 #9285868 を販売中

KLA Phoenix D 1。2は、フロントエンド半導体加工のために設計された高性能ウエハハンドラです。Phoenix D 1。2は、幅広いオートメーション機能を備えており、ウェーハ処理のあらゆる側面を管理できる完全なスタンドアロン機器として機能します。これは、シリコン、結晶石英、絶縁体（SOI）上のシリコンなど、さまざまな基板で動作するように設計されています。フェニックスD 1。2は、ウェハハンドリング時に安定性とサポートを提供するように設計された頑丈なフレームを備えています。自動パック搬送システムを備えており、搬送ステーションからステーションへのウェーハパックの効率的で正確な移動を提供します。手作業による汚染リスクを最小限に抑え、搬送時のウェーハ位置の精度を確保します。また、統合された真空機を備えており、個々のウェーハをストレージポッドから処理ステーションに安全に転送するのに役立ちます。Phoenix D 1。2には高度なモーションコントロール機能も搭載されており、搬送中に各ウェハを正確に回転および傾斜させることができます。1ポッドにつき最大3つのウェーハを保持できる2つの真空ポッドと、最大速度8。3インチ/秒のウェーハ処理が可能です。Phoenix D 1。2は、他のウェハハンドリングシステムや計測機器との通信を容易にするために、幅広いインタフェースをサポートしています。USBポート、RS-232ポート、イーサネットポート、アナログポートなど、外部デバイスに接続するための入出力ポートを複数備えています。Phoenix D 1。2には、モーションコントロール、温度制御、デバイス間の通信など、ウエハハンドリングプロセスのすべての側面を制御するための高度なソフトウェアも含まれています。フェニックスD 1。2は、ウェハハンドリングシステム用のSEMI E77、プロセス機器インタフェース用のSEMI C85など、SEMI規格に準拠しています。これにより、信頼性、プロセスの均一性、および他のウェーハハンドリングシステムとの互換性が保証されます。全体として、TENCOR Phoenix D 1。2は、効率的で正確で信頼性の高いウェハハンドリングを提供するように設計された高性能ウェハハンドラです。SEMI規格に準拠した豊富なオートメーション機能により、フロントエンドの半導体加工に最適です。