中古 KENSINGTON Equinox #81777 を販売中

ID: 81777
Robot, includes controller, maximum radial reach of arm and end-effector: 18" from the centerline of the robot, dual end effector configuration, safe working envelope diameter with the arm in the center position and a wafer on the end-effector is 21".
KENSINGTON Equinoxは、半導体業界での効率的で費用対効果の高い運用を目的に設計された高精度ウェハハンドラです。特許取得済みのトポグラフィーベースのウェーハグリッピングメカニズムを搭載し、正確で安定した基板処理を可能にします。また、信頼性とカスタマイズ性に優れているため、トランスファーキット、フレキシングベルト、コンベア、チャックプレートなどの主要部品を変更することができ、効率を最大限に高め、さまざまなウエハサイズや形状の正確な取り扱いを可能にします。このユニットには、コントロールキャビネット、上段モジュール、ウェハゼロポジショナーの3つの主要コンポーネントがあります。制御キャビネットには、産業用PC、 PLC、 HMIワークステーションが含まれており、CANopen通信を介して接続され、効率的なセットアップとプログラミングが可能です。アッパーステージモジュールはアッパーアーム上に配置され、基板の移動とグリップを担当します。リニアドライブステージ、ロータリーサーボ、ウェハグリッパーで構成されています。ウエハゼロポジショナーは、基板の正確な向きを決定する統合コンポーネントであり、傷などの損傷のリスクのない正確なウエハハンドリングを可能にします。さらに、Equinoxは幅広い機能と機能を提供しています。即接着用の真空プレボンドポンプを内蔵しており、高精度な取り扱いが可能です。真空プレボンドポンプには、自動調整と表面温度監視機があり、正確で温度制御された接着と位置決めを保証します。さらに、このツールは、基板の正確な検出を可能にする統合ビジョンアセットを持っています。KENSINGTON Equinoxの主な利点は、高速で正確な操作です。このモデルは、高度な輪郭フォロワー機能を備えており、表面を損傷することなく滑らかで迅速なウェーハ移動を保証し、強力なプロセス制御とコスト削減のメリットを提供します。これらのすべての機能は、最高の精度、信頼性、コスト効率で高性能を提供するように設計されています。全体として、Equinoxは高度で信頼性の高いウェハハンドラであり、さまざまな半導体製造プロセスでの使用に適しており、高精度で損傷のない費用対効果の高い基板処理を実現できます。
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