中古 KENSINGTON CSMT-4 #9078960 を販売中
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ID: 9078960
ウェーハサイズ: 8"
Station Sorting/Mapping Tool System, 8"
Wafer Handling robot with Dual Paddle for High Throughput
Advanced Cassette Sort Merge/Randomize/Split Capability
Cassette Tilt Scanning/Mapping System with Transmissive Metrology
Measures Actual Wafer Positions in Cassettes
Detects Two-wafers-in-a-slot & Cross slotted wafers
Wafers Handled through slot center for minimal contamination and gentle handling
High Speed, High Resolution Prealigner
Foresight OCR Recognition System
OS/2 Operating System with Touch Screen Color Display: Pentium PC
User Friendly Graphical Interface for all operations and Recipe Generation
Ergonomic Stainless-Steel Frame
Better that Class-1 Clean Room Compatibility
Fail-Safe, Integrated Vacuum/Motion Controllers (Kensington Model 4000)
Automatic Error-Condition Recovery
Smooth, Digitally-controlled DC Servo Actuation of all axes
Direct Motion Metrology of all axes: Fully Distributed Force/Position Feedback Sensing
Automatic Tilt-Back locates Wafers against back of cassette: prevents migration
90° Tilt-Back Cassette Loading/Unloading addresses Carpel Tunnel Syndrome Concerns
Colored Light System Status Beacon
Un-interruptible Power Supply/Back-up Vacuum (UPS/BUV) System. 110VAC AC 50/60 Hz
Automatically Unloads all wafers safely into their cassettes on total loss of power
Keyboard Drawer
Mirror-Bright #8 Electro-polished Laminar Flow Frame Top
X-Windows Software
Installation and on-site support
System Options:
GEMS/SECS-II Interface
Intel Ether Express W/TCPIP or HSMS.
KENSINGTON CSMT-4は、プロセスチャンバーとウェハカセット間の手動交換用に設計されたウェハハンドラです。4軸ステッピングモータ制御により、正確でクリーンな手動ウェハハンドリングが可能です。CSMT-4は精密なウェーハ処理に適しており、さまざまなウェーハ製造および試験ニーズに対応するさまざまな機能を備えています。KENSINGTON CSMT-4は、2インチウエハから8インチウエハまで使用できる柔軟な構造で設計されています。このユニットはまた、各チャンバーに最大数のウェーハを可能にする高密度カセットポッド設計をサポートしています。精密ステッピングモータを搭載し、ウェーハの正確な取り扱いとアライメントに優れた精度を提供します。また、キネマティクスベースのプリアライメント装置と特許取得済みのエキセントリックギヤコントロールにより、ティータッターモーションを低減します。CSMT-4は、自動化されたウェーハアライメント、最適化された自動アライメントにより、比類のないスループットとパフォーマンスを実現し、簡単かつ迅速にセットアップできます。このユニットには、プロセスステーションへの正確なウェーハアライメントを保証するビジョンシステムが装備されています。KENSINGTON CSMT-4は、ウェーハ1本あたり最大80gの重量を持つ6〜8インチのウェーハを扱えるように設計されています。また、シングルウエハとカセットローディングの両方に対応できるため、最大限の柔軟性と信頼性が得られます。このユニットには、PCからコントローラへの信頼性の高いデータ転送を保証する7ビットコードが装備されています。安全はCSMT-4にとって優先事項です。シンプルなコントロールと直感的なユーザーインターフェイスでユーザーフレンドリーに設計されています。また、ウェーハの破損を低減する真空コンストリクションやエアバッグウェーハ・フリップアームなどの安全機能も搭載しています。このユニットには、検出されたときに故障した操作を監視および報告する統合安全ユニットも装備されています。KENSINGTON CSMT-4は、効率的な使用のために設計されています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと高度な機能により、操作とメンテナンスが簡単になります。また、ウェーハ計測機、ガスモニターユニット、ウェーハ位置追跡ツールを一体化した各種オプションも用意しています。また、モジュラー設計により、お客様のニーズに応じて調整やアップグレードが容易になります。全体として、CSMT-4は、処理チャンバとウェーハカセット間のウェーハの手動交換用に設計された信頼性の高い効率的なウェーハハンドラです。精密なウェーハハンドリング、自動化されたウェーハアライメント、ビジョンアセット、最大限の保護のための安全機能など、幅広い機能を提供します。このユニットはセットアップとメンテナンスも簡単で、さまざまなウェハ製造およびテストのニーズに最適です。
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