中古 KENSINGTON CSMT-4 #9078959 を販売中
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ID: 9078959
ウェーハサイズ: 6"
Station Sorting/Mapping Tool System, 6"
Wafer Handling robot with Dual Paddle for High Throughput
Advanced Cassette Sort Merge/Randomize/Split Capability
Cassette Tilt Scanning/Mapping System with Transmissive Metrology
Measures Actual Wafer Positions in Cassettes
Detects Two-wafers-in-a-slot & Cross slotted wafers
Wafers Handled through slot center for minimal contamination and gentle handling
High Speed, High Resolution Prealigner
Foresight OCR Recognition System
OS/2 Operating System with Touch Screen Color Display: Pentium PC
User Friendly Graphical Interface for all operations and Recipe Generation
Ergonomic Stainless-Steel Frame
Better that Class-1 Clean Room Compatibility
Fail-Safe, Integrated Vacuum/Motion Controllers (Kensington Model 4000)
Automatic Error-Condition Recovery
Smooth, Digitally-controlled DC Servo Actuation of all axes
Direct Motion Metrology of all axes: Fully Distributed Force/Position Feedback Sensing
Automatic Tilt-Back locates Wafers against back of cassette: prevents migration
90° Tilt-Back Cassette Loading/Unloading addresses Carpel Tunnel Syndrome Concerns
Colored Light System Status Beacon
Un-interruptible Power Supply/Back-up Vacuum (UPS/BUV) System. 110VAC AC 50/60 Hz
Automatically Unloads all wafers safely into their cassettes on total loss of power
Keyboard Drawer
Mirror-Bright #8 Electro-polished Laminar Flow Frame Top
X-Windows Software
Installation and on-site support
System Options:
GEMS/SECS-II Interface
Intel Ether Express W/TCPIP or HSMS.
KENSINGTON CSMT-4は、半導体産業のための300mmシリコンウェーハの大量生産用に設計された先進的な自動ウェーハハンドラです。このハンドラは、最大4つのウエハを搭載し、化学蒸着（CVD）装置またはプロセスチャンバーにロードすることができます。カセットからウェーハを取り出し、処理システムに配置するロボットアームも付属しています。このハンドラには、プロセスサイクル中にウェーハを処理するための真空ユニットも含まれています。CSMT-4ウェーハハンドラは、ウェーハ処理を自動化するための信頼性と汎用性の高いツールとなる多くの機能を提供しています。高度なロボットアームにより、高い位置決め精度と滑らかで正確な動きを可能にし、さまざまなウェハサイズに対応できます。真空機械は、プロセス周期中にウェーハが確実に保たれるように設計されており、空気の乱れや振動からウェーハが破損する可能性がありません。検出ツールは、ウェーハのサイズを自動的に検出し、大きなウェーハサイズでもリアルタイムのフィードバックと正確な位置情報を提供します。また、ロボットアームのツーリングや解体を必要とせずに、メンテナンスや検査を簡単に行える簡単なカバーも備えています。統合された制御資産により、プロシージャプログラムをロボットアームに指示することなく保存および実行することができます。また、統合された安全ガードとインターロックモデルがあり、機械の内部コンポーネントを完全に保護し、産業環境で安全に使用できます。KENSINGTON CSMT-4は、半導体製造業界の最高の生産および性能要求を満たすように設計された、実績のある信頼性の高い自動ウェハハンドラです。高い位置精度と最小限の人間の介入でシリコンウェーハを処理および処理するための信頼性が高く、安全で経済的なソリューションを提供します。このハンドラは、さまざまなウェハサイズとプロセスサイクルに対応できるため、大量生産とプロセス効率の向上に向けた信頼性の高いソリューションとなります。
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