中古 KENSINGTON CSMT-2 #9078951 を販売中
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ID: 9078951
Station Sorting/Mapping Tool System, 6"
Wafer Handling robot with Dual Paddle for High Throughput
Advanced Cassette Sort Merge/Randomize/Split Capability
Cassette Tilt Scanning/Mapping System with Transmissive Metrology
Measures Actual Wafer Positions in Cassettes
Detects Two-wafers-in-a-slot & Cross slotted wafers
Wafers Handled through slot center for minimal contamination and gentle handling
High Speed, High Resolution Prealigner
Foresight OCR Recognition System
OS/2 Operating System with Touch Screen Color Display: Pentium PC
User Friendly Graphical Interface for all operations and Recipe Generation
Ergonomic Stainless-Steel Frame
Better that Class-1 Clean Room Compatibility
Fail-Safe, Integrated Vacuum/Motion Controllers (Kensington Model 4000)
Automatic Error-Condition Recovery
Smooth, Digitally-controlled DC Servo Actuation of all axes
Direct Motion Metrology of all axes: Fully Distributed Force/Position Feedback Sensing
Automatic Tilt-Back locates Wafers against back of cassette: prevents migration
90° Tilt-Back Cassette Loading/Unloading addresses Carpel Tunnel Syndrome Concerns
Colored Light System Status Beacon
Un-interruptible Power Supply/Back-up Vacuum (UPS/BUV) System. 110VAC AC 50/60 Hz
Automatically Unloads all wafers safely into their cassettes on total loss of power
Keyboard Drawer
Mirror-Bright #8 Electro-polished Laminar Flow Frame Top
X-Windows Software
Installation and on-site support
System Options:
GEMS/SECS-II Interface
Intel Ether Express W/TCPIP or HSMS.
KENSINGTON CSMT-2は、高温に敏感なウェーハを処理するための高性能で費用対効果の高いソリューションを提供するために設計されたウェーハハンドリング装置です。ウェーハの取り扱いと熱伝達を簡素化するグラファイト構造を内蔵した自動ウェーハハンドラです。CSMT-2の主な特徴は、自動ウェーハインデックスとムーブメント機器、熱伝達のための統合グラファイトブロック、直感的なタッチスクリーンインターフェイスなどです。KENSINGTON CSMT-2は、ウェーハインデックスとムーブメントシステムを自動化し、ステージ間の簡単なインデックス作成と移動を可能にします。これにより、グラファイトブロックの中心にウェーハを正確かつ再現可能に配置することができ、熱エネルギーの効率的な移動を可能にします。ウェーハハンドラに熱管理と制御ユニットを内蔵しているため、ウェーハ処理用の外部冷却システムが不要です。統合されたグラファイトブロックは、最適な温度均一性を保証する非接触熱伝達機構を備えています。これにより、接触棒や熱電対の必要性がなくなり、プロセスの信頼性が向上し、汚染のリスクが低減されます。また、グラファイトブロックはサーマルドリフトを防止し、加熱されたウェーハがより一貫した処理環境のために温度を維持できるようにします。CSMT-2の直感的なタッチスクリーンインターフェイスにより、ウェーハの取り扱いと熱伝達の設定が簡素化されます。これにより、ユーザーはウェーハ処理パラメータの所望の温度、速度、およびタイミングを選択することができます。このユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、正確で再現性の高いウェーハ処理結果が保証され、全体の生産を最適化します。さらに、KENSINGTON CSMT-2には、自動シャットオフ、過熱警報、緊急停止ボタンなどの安全機能が組み込まれており、オペレータと機器が潜在的な危険から保護されています。また、堅牢な構造と耐食部品のおかげで、メンテナンス性の低い機器です。CSMT-2は、高温に敏感なウェーハを処理するための高性能で費用対効果の高いソリューションを提供するように設計された自動ウェーハハンドラです。自動化されたウェーハインデックスおよびムーブメントマシン、統合されたグラファイトブロック、直感的なタッチスクリーンインターフェイス、および組み込みの安全機能などの機能により、高温に敏感なウェーハの信頼性と正確な処理に特に適しています。
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