中古 KENSINGTON 8500-12 #9156454 を販売中

KENSINGTON 8500-12は、半導体デバイス製造に使用される完全自動ウェハハンドラです。8インチと150 mmまでの幅広いウエハサイズをサポートするように設計されています。この装置は、精密かつ再現性のあるウェーハ転送に6軸ロボットアームを使用し、ウェーハを追跡して輸送中のあらゆる動きを補正できる高精度ビジョンシステムを備えています。このユニットは、迅速かつ正確なウェーハトランスポートを容易にするために、さまざまな機能とレシピでプログラムすることができ、応答性の高いコンピュータ化コントローラを備えています。具体的には、ウエハサイズ、向き、ハンドリング特性に基づいたパラメータでコントローラをプログラミングできます。また、1回の転送で最大5つのウェーハを収容できるように設計されており、高速スループットを実現しています。8500-12はまた、高い精度と超精度の位置決め機能を誇っています。ステッピングモータ駆動機とエンコーダ付きのリニアステージは、0。1 μ mの範囲で精度を提供します。この精度を実現することで、さまざまなサイズや形状のウエハを正確に処理するプロセス制御が可能になります。安全のために、このツールは低慣性で剛性のある手首機構を提供することができます。さらに、アセットは、過負荷が発生した場合にモデルをシャットダウンするEOSヒューズによって保護されます。さらに、KENSINGTON 8500-12はコンパクトで軽量な設計で、ほとんどのコンベアシステムと最小限のスペース要件で統合されています。また、自己診断とユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えた簡単なメンテナンスを提供するように設計されています。全体として、8500-12は、今日の半導体デバイス製造の要求に応えるように設計された信頼性の高い高性能ウェハハンドラです。精度、再現性、安全性に優れているため、数多くの生産環境に最適です。