中古 KAWASAKI TS310-D511S #9144125 を販売中

KAWASAKI TS310-D511Sは、世界中の研究室で幅広い研究開発アプリケーションに使用するために設計された自動ウェハハンドラです。半導体ウェーハの製造、搬送、試験、検査に最適です。これは、特定のアプリケーションや環境のニーズに合わせてカスタマイズできる独立したコンポーネントで構成されたモジュラー設計を備えています。このウェハハンドラは、コンパクトなリニアモーションガイドを使用して、ドック転送ハンドルを直線で駆動します。誘導と精密駆動の組み合わせにより、ウェーハの正確な移動を実現します。ドックトランスファーハンドルには真空システムが装備されており、最大150mm （6。0インチ）のウェーハサイズに対応できます。さらに、このウェハハンドラは、カセットウェーハ、カセットカセット、カセットツーオープンの配置を処理することができます。TS310-D511Sは、さまざまな設定と転送設定を備えた使いやすいタッチスクリーン操作パネルを利用しています。これにより、特定のアプリケーションのニーズを満たすための迅速かつ簡単なセットアップと操作が可能になります。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、生産レートの最適化のためのパラメータを素早く移動し、一貫した製品品質を維持できます。KAWASAKI TS310-D511Sは、8インチから150mmまでの幅広いウェーハに対応可能です。ウエハハンドリングには、連続転送、反復転送、ワンオフ転送という3つのモードがあります。ウェーハの厚さを検出し、リピートウェーハを所望の位置に転送することができます。これにより、ウェーハの正確な位置決めが保証されます。信頼性とユーザーの安全性を確保するために、TS310-D511Sは様々な安全メカニズムを備えています。異常なゴム治具を自動的にチェックし、過度に長い装填時間が発生した場合に装填を中止します。その他の安全機能には、ドアの近接スイッチと、操作時に即座に機械をシャットオフする緊急停止ボタンがあります。KAWASAKI TS310-D511Sは、幅広い用途向けに設計された自動ウェハハンドリングシステムです。モジュラー設計とユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、ユーザーは機械のパラメータを迅速かつ簡単に調整し、最適化された生産と一貫した品質のために構成することができます。機械の多様な安全機能は、信頼性と安全性の高いパフォーマンスを保証します。