中古 KAWASAKI TS220-D511S #9088881 を販売中

KAWASAKI TS220-D511Sウェーハハンドラは、8 ″までの脆弱な半導体ウェーハを正確かつ確実に転送、回転、検査するために設計された量産装置です。細かくバランスの取れた堅牢なメカニズムにより、高感度ウェーハの損傷を最小限に抑え、サイクル全体にわたって高精度で一貫したアライメントを実現します。TS220-D511Sは、メインプロセッサ、回転子、コンベア、ストッカーユニットなど、いくつかのモジュールで構成されています。メインプロセッサユニットは、ローテータ、コンベア、ストッカーユニットから受信した信号を処理し、異なるコンポーネント間のウェーハの輸送を制御し、即座に調整するコントローラを備えています。ローテーターユニットは、従来のステッピングモータでは不可能だった回転精度を実現するため、高トルクのブラシレスモータを採用し、正確にウェーハを回転させます。このコンベアは、吸引技術とフリーフォール技術を組み合わせて、ウェーハの滑らかな動きを一貫して保証し、動きの滑らかさは全体的に印象的なレベルの精度を達成します。ストッカーユニットは、信頼性が高く準拠したユニットであり、最大65個の8 ″ウェハを保持するように設計されています。KAWASAKI TS220-D511Sは、ウェーハ転送位置決め精度が1 μ m、回転精度が0。02°、ウェーハ処理時間が10msという性能基準を実現し、確実かつ効率的に動作するように設計されています。また、ウエハ検査を自動化し、スループットを向上させ、プロセスの欠陥を排除することができるビジョンシステムを内蔵しています。さらに、イベント駆動のスタンドアロン操作ユニットを使用して、機械のスムーズで信頼性の高い動作を保証します。TS220-D511Sの追加機能には、内蔵診断によるメンテナンスサポート、部品交換の自動通知、PCを介した安全なプログラミング、プロセスパラメータの完全なトレーサビリティなどがあり、これらはすべて効率性と最適な運用と製品品質の保証に貢献します。最も重要なのは、KAWASAKI TS220-D511Sは手頃な価格で簡単に維持できるように設計されており、半導体業界の需要に信頼性と経済性の高いソリューションを提供しています。多数の追加機能により、要求の厳しい半導体生産プロセスにTS220-D511S魅力的な量産機となっています。