中古 KAWASAKI NX510 #9209235 を販売中

KAWASAKI NX510 Wafer Handlerは、業界トップクラスのロボットウェーハ搬送・搬送機器です。このシステムは、研究所、超清浄設備、および生産ラインでの使用のために設計されています。直径6インチまでのウェーハの搬送・取り扱いが可能で、総重量は15kgまでです。NX510は、ウエハの正確な制御を保証するフローティングプレート作動ユニットを使用しています。トレイインサートは、単一のプレート設計で標準的なウェーハカセットを受け入れるように設計されています。KAWASAKI NX510の輸送機は、さまざまなプロセスや生産タスクのニーズに対応するために、さまざまな組み合わせの運用の柔軟性を提供します。NX510にはユーザーフレンドリーなタッチスクリーンパネルがあり、直感的な操作のためのさまざまな機能と機能を提供します。ウェーハトランスポートサポート、ロケーションサポート、リロケーション、動作状況監視などの機能を備えています。KAWASAKI NX510の高度な安全ツールは、ロボットアームが意図しない方向に動かないようにします。アセットやウェーハに損傷を与えることなくウェーハの動きを可能にする電気機械ストッパーが含まれています。このデバイスには、直感的なビジョンシステムが付属しており、ウェーハの正しい配置と向きを確保するために、通過中に直接接触せずに目立たずにウェーハを監視します。ウェーハの特定の監視が必要な場合は、他のビジョンシステムを追加するオプションもあります。このデバイスには、ウェーハやロボットセルの汚染を防ぐための空気供給および除塵装置が内蔵されています。空気供給は、ロボット制御コンポーネントを冷却し、セル内の温度を調節するためにも使用されます。NX510は半導体生産プロセスの要求を満たすように設計されています。高品質な構造により、耐久性と高性能を確保しています。直感的な機能と高度な安全システムを備えたKAWASAKI NX510は、ロボットウェーハハンドリングモデルを探すのに最適です。