中古 KAWASAKI 3NS410B-A005 #293665579 を販売中

ID: 293665579
Robot.
KAWASAKI 3NS410B-A005ウェーハハンドラは、半導体産業のウェーハを安全に保管・搬送する自動化機械です。本製品はPLC(プログラマブルロジックコントローラ)を搭載し、位置決め速度や各操作の工数など、さまざまな機能を制御します。コントロールパネルは、ウェハハンドリングとプロセスのためのさまざまなパラメータとアラームを監視および管理します。このプロダクトの外的なエンクロージャは優秀な耐食性および強さのためのステンレス鋼から製造されます。最大100mmのウエハフレームまたは30mmまたは25mmのような小径のウエハーを扱うように設計されています。蓋を開けたときの操作を防ぐ安全システムを内蔵しており、ユーザーの安全性を向上させます。3NS410B-A005には、最大スイング半径565mm、リーチ500mmの精密ウェーハグリッパーアームが含まれています。これにより、ウェーハの損傷や汚染を避け、安全で信頼性の高い取り扱いが保証されます。また、クリーニングプロセスを改善するために使用されるエアナイフを備えています。ピンチセンサーやチルトセンサーなど、ウェーハの存在を検出する保護装置がいくつかあります。KAWASAKI 3NS410B-A005は、ウェーハの挿入から完成ウェーハの配置まで、完全に自動化されたプロセスシーケンスを備えています。ウェーハ転送時間5秒で手動または自動モードで動作する機能を備えています。また、最大11個のプロセスレシピを保存できるメモリ容量を備えています。機械はリアルタイム表示、分析および診断機能を含むさまざまな制御および監視機能を、提供します。3NS410B-A005はさまざまな機能を備えており、幅広い用途に最適です。このウエハハンドラの優れた設計と先進技術の組み合わせは、さまざまな業界のニーズに応える一流のソリューションを提供します。堅牢な構造と信頼性の高い性能により、ウエハハンドリングに最適です。
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