中古 KAWASAKI 30C63E-A003 #293643262 を販売中

ID: 293643262
ヴィンテージ: 2006
Robot controller 2006 vintage.
KAWASAKI 30C63E-A003は、半導体加工に特化したウェハハンドラです。このウェハハンドラは、KAWASAKIロボティクスシステムの実証済みで信頼性の高いウェハハンドリング機能を利用しています。コンパクトで低コストなドライバーで、設置面積も小さくなっています。多軸アプリケーションと汎用性の高いプロセス機能を備えた30C63E-A003は、高精度な大型ウエハの取り扱いに最適です。KAWASAKI 30C63E-A003は、モーションコントローラを一体化し、フルモーションコントロール機能と使いやすいインテリジェント操作装置を備えています。ウエハサイズは直径250mmまで対応可能で、大型ウエハーに適しています。ロボットは0.8Gの最大加速度とx、 y、およびz軸の周りの800の最大速度を持っています。さらに、4軸スクリュードライブ技術を使用して、ウェーハの迅速かつ正確な操縦を保証します。また、ウェーハは0度から540度まで傾くことができ、ウェーハ表面のさまざまなプロセスを可能にします。また、30C63E-A003には統合ビジョンシステムがあり、ウェーハとピンセット間のずれをすばやく検出して修正できるため、複数の再試行が不要です。このビジョンユニットは、チップの配置、シーリング、サイズ変更など、さまざまな精密プロセスを使用することができます。さらに、プログラミング指示を使用して、ウェハハンドラを迅速にカスタマイズして、さまざまなプロセスに対応できるため、柔軟性が向上し、適応が容易になります。KAWASAKI 30C63E-A003は様々なデータフォーマットにも対応しており、既存システムへの統合の効率化と処理効率の最大化を実現しています。また、作動中の衝突を防ぐための保護装置も内蔵しています。ロボットの他の機能には、自己診断機能とメンテナンスアラートツールがあります。このロボットはKAWASAKI HMIと互換性があり、安全動作を確保するためにCE規格に準拠した安全機能を備えています。結論として、30C63E-A003はウェーハハンドリングを簡単かつ効率的にするために、最新の技術で設計されたウェーハハンドラです。モーションコントローラとビジョンアセットを統合することで、精度と柔軟性が大幅に向上し、自己診断機能により、ロボットが常に最適な状態にあることを保証します。これらの機能はすべて、信頼性が高く手頃な価格のウェーハハンドラをお探しの方に最適です。
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