中古 KAWASAKI 30C63E-A003 #293643261 を販売中

KAWASAKI 30C63E-A003は、薄いウェーハ素材をはじめ、繊細で脆い素材を収集、選別、輸送するために設計されたウェーハハンドラです。このハンドラは、通常、PVD （Physical Vapor Deposition）またはCVD （Chemical Vapor Deposition）プロセスでの半導体処理に使用するために設計されています。このウエハハンドリングソリューションは、コンパクトな設計で設置面積が小さく、生産現場の省スペース化を実現します。30C63E-A003のフレームは重い負荷に耐えることができる堅く、耐久の構造を保障するために陽極酸化されたアルミニウムと造られます。カセット輸送プラットフォームは、プラットフォームを滑らかに導く特別な磁気浮遊装置で固定されており、カセットトレイの摩耗や傷を防ぎます。これは、プラットフォームに沿って移動する際に薄いウェーハを保護するための防振環境を提供します。KAWASAKI 30C63E-A003には、ウェーハカセットをハンドラの片端からもう片方に輸送するための横型コンベアシステムも含まれています。高精度、高速コンベアは、サーボモータとタイマーベルトユニットによって駆動され、滑らかで一貫した動きを提供し、クリーンルームの床に着陸する粒子のリスクを低減します。30C63E-A003はまたクリーンルームの環境が生産プロセスに悪影響を及ぼすことができる塵および他の汚染物から自由であることを保障するために非塵のちり止め機械が装備されています。このツールは、ダストシールドを使用して部品をコンパートメント化し、アセットに入る異物をろ過するマイクロフィルターを使用します。これにより、クリーンルーム環境を維持し、半導体プロセスの歩留まりを向上させます。KAWASAKI 30C63E-A003は、安全性と信頼性のためにも設計されています。カバーが閉じていないときに検出し、潜在的な事故を避けるために自動的に操作を停止できる安全ロックアウトモデルが付属しています。ハンドラーには、カセットの逆流を検出するリターンセンスが付属しており、必要なときにカセットを素早く正確にソートでき、ずれによる潜在的な損傷を回避できます。全体として、30C63E-A003は、薄いウェーハ材料やその他の壊れやすい部品の製造に最適な高効率で信頼性の高いウェーハハンドラです。その耐久性のある構造、高度なモーションコントロール技術、および防塵装置は、生産効率を改善し、汚染のリスクを低減するのに役立ちます。